TSI 7950高壓空氣擴散器,適合藥廠/半導體廠/OLED產業等,高壓氣體CDA、N2、Ar等其潔淨度量測。

  1. 測量高壓壓縮氣體系統中顆粒物污染。
  2. 相容0.1 cfm AeroTra的粒子計數器(遠端/桌上/手持)
  3. 高達 120 psi (8.27 bar) 的氣壓降壓至近大氣壓

描述

美國TSI AEROTRAK微粒子計數器/落塵計數器/遠距連續微粒子計數器

美國TSI微粒子計數器總代理 | 手持式 | 攜帶式 | 大流量100L | 遠距連續監測全系列產品供應

美國TSI AEROTRAK™微粒子計數器, 全系列產品符合ISO 21501-4的精準度嚴格規定, 出廠前由美國TSI採用PSLs校正, 追溯NIST, 是公認的校正標準粒子。
隨機器皆附原廠免費資料下載軟體, 可在電腦完整下載數據
機器有內建完整法規包含ISO14644-1:2015, EU GMP, FS209E 公制及英制等四種

可自行製作法規完整報告, 具Pass/Fail判別, 認證潔淨度等級標準

可選購即時監控軟體, 具即時數據, 趨勢變化, 警報設定, 歷史數據紀錄, 通訊格式為網路Ethernet (TCP/IP) Modbus RTU, 也可提供通訊協定, 便於客戶整合數據.

適合藥廠/半導體廠/OLED產業等高壓氣體CDA、N2、Ar等氣體其潔淨度量測。

TSI AeroTrak粒子計數器可使用AeroTrak 7950/7955減壓閥 (High Pressure Diffuser ) 配件測量高壓壓縮氣體系統中顆粒物污染,減壓後的氣體流量為0.1 CFM或1 CFM, 依據所使用的量測儀器流量而定. 由於粒子計數器無法對高壓氣體採樣,因此需要HPD配件降低壓縮氣體的壓力,實現壓縮氣體系統潔淨度水平的評估。
非常適合藥廠/半導體廠/OLED產業等高壓氣體CDA、N2、Ar等氣體其潔淨度量測。

特點和優勢

☑相容0.1 /1 cfm AeroTrak粒子計數器(包括遠程式和手持式)和AeroTrak 9001型潔淨室凝聚核粒子計數器(CPC)。
☑ 監測和測試ISO 8573-3 和 SEMI E49.8 標準
☑ 可將高達 120 psi (8.27 bar) 的氣壓降壓至近大氣壓
☑ 額定流量0.1 cfm (2.83 lpm)/流量1 cfm (28.3 lpm)
☑ 無需手動調整或校正
☑ 可使用潔淨乾燥空氣 (CDA),氮氣 (N 2 ) 和氬氣 (Ar)
☑ 鈍化不鏽鋼外殼,可防止潔淨室化學品腐蝕
☑ 排氣過濾器可在高壓氣體源斷開時,保護擴散器免受污染

詳細規格

尺碼範圍 0.100至10.0米
粒子通道大小 0.10, 0.15, 0.2, 0.25, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0um
大小分辨率 <15%@0.2UM (perISO21501-4)
計數效率 50%在0.100mm;100% particles >0.15um(per

ISO21501-4 and JIS)

濃度限制 100,000 particles/ft3(3500,000/m3) @10%

coincidence loss

光源 HeNe雷射(4年保固)
歸零計數 <1 count per 5 minutes(符合ISO 21501-4及JIS)
流量 1.0 CFM(28.3L/min)
真空來源 External vacuum >15 in. (38.1 cm) of Hg
校正 可追溯NIST
校正頻率 建議每年一次
採樣方式 手動或自動
通訊方式 Modbus@over RS-485, Modbus@ over Ethernet,

4-ch CEMS pulse, serial RS-232

數據儲存 2,000個樣品紀錄
狀態指示燈 電源、服務、數據、警報輸出
軟體 FMS 5
外表皮 不鏽鋼
尺寸及重量 (H x W x D) 5.25 *5.0*17.9 (13.4 cm* 12.7 cm*45.6 cm),5.23kg
電源 110 到 240 VAC通用電源
法規 符合ISO21501-4、CE、JISB9921標準
保固 非人為兩年保固,雷射0.1umm4年保固,可延長保固
運轉範圍 50o  to 95oF(10to 35oC),,20%~95% noncondensing
儲存範圍 32 o to 122 o F(0 o to 50 o C), 最高可達98% RH noncondensing
隨附配件 快速入門指南、操作手冊、電源線、電池、USB線、TrakPro Lite軟體
選購配件    等速進樣口、淨化過濾器、採樣管、真空管

應用範圍

減壓閥型錄下載

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