描述
Surf-Cal 尺寸標準微粒參數:
Surf-Cal 尺寸標準微粒用於半導體工業的掃描表面監測系統(SISS)的校正，滿足SEMI 標準規則要求，所提供的微粒尺寸包括:半導體國際技術藍圖(ITRS)定義關鍵的尺寸節點大小。
Surf-Cal標準品可用來簡化工廠內校正晶片的準備工作，可提供的微粒尺寸與儀器生產商要求的校正點大小一致。
將Surf-Cal 系列NIST 溯源的聚苯乙烯微粒，置於特別選定的晶片上，就可以執行定期校正檢查，並可將自己的掃描器與其他的掃描器進行比對，也可以在生產過程中的關鍵階段對SSIS 系統進行性能評估。
這一系列標準品懸浮於過濾過的去離子水中，濃度3 x10 8個微粒/ mL、包裝單位：50ml/瓶裝。1.112um及以下粒徑還提供濃度為10 10個微粒/mL 的濃度產品，主要用於微分遷移率分析儀（DMA）或其它尺寸排除技術輔助的領域。
測量方法:
為了確保能直接溯源至NIST，這些產品獲得認證的直徑是:
- 通過投射電子顯微鏡，或光學顯微鏡，由NIST標準參考物質轉移而得的
- 不確定度是根據NIST技術註釋1297、1994版“評估與表達NIST測定結果不確定度的導則”計算而得。
認證證書中標明的不確定度值是:
- 採用覆蓋因子2(K=2)擴展後的不確定度
- 峰值直徑是採用微粒尺寸分佈± 2s的範圍計算而得
- 計算的尺寸分佈作為峰值的標準偏移圖
- 變異係數是指一個標準差與峰值直徑的百分比
- FWHM分佈是半峰值高的分佈佔據峰值直徑的百分比計算而得的。
Surf-Cal系列微球產品列表：
貨號
|
粒徑
|
濃度 |
包裝
|
PD-047
|
0.047µm
|
3e8 |
50ml
|
PD-047B
|
0.047µm
|
1e11 |
50ml
|
PD-064
|
0.064µm
|
3e8 |
50ml
|
PD-064B
|
0.064µm
|
1e11 |
50ml
|
PD-083
|
0.083µm
|
3e8 |
50ml
|
PD-083B
|
0.083µm
|
1e11 |
50ml
|
PD-092
|
0.092µm
|
3e8 |
50ml
|
PD-092B
|
0.092µm
|
1e11 |
50ml
|
PD-100
|
0.100µm
|
3e8 |
50ml
|
PD-100B
|
0.100µm
|
1e11 |
50ml
|
PD-125
|
0.126µm
|
3e8 |
50ml
|
PD-125B
|
0.126µm
|
1e11 |
50ml
|
PD-155
|
0.155µm
|
3e8 |
50ml
|
PD-155B
|
0.155µm
|
1e11 |
50ml
|
PD-200
|
0.202µm
|
3e8 |
50ml
|
PD-200B
|
0.202µm
|
1e11 |
50ml
|
PD-204
|
0.204µm
|
3e8 |
50ml
|
PD-204B
|
0.204µm
|
1e11 |
50ml
|
PD-215
|
0.220µm
|
3e8 |
50ml
|
PD-215B
|
0.220µm
|
1e11 |
50ml
|
PD-305
|
0.304µm
|
3e8 |
50ml
|
PD-305B
|
0.304µm
|
1e11 |
50ml
|
PD-365
|
0.360µm
|
3e8 |
50ml
|
PD-365B
|
0.360µm
|
1e11 |
50ml
|
PD-500
|
0.494µm
|
3e8 |
50ml
|
PD-500B
|
0.494µm
|
1e11 |
50ml
|
PD-800
|
0.809µm
|
3e8 |
50ml
|
PD-800B
|
0.809µm
|
1e11 |
50ml
|
PD-802
|
0.802µm
|
3e8 |
50ml
|
PD-802B
|
0.802µm
|
1e11 |
50ml
|
PD1100
|
1.112µm
|
3e8 |
50ml
|
PD1100B
|
1.112µm
|
1e11 |
50ml
|
PD1600
|
1.59µm
|
3e8 |
50ml
|
PD2000
|
2.01µm
|
3e8 |
50ml
|
PD3000
|
3.04µm
|
3e8 |
50ml
|
