描述
Surf-Cal 尺寸標準微粒用於半導體工業的掃描表面監測系統(SISS)的校準，滿足SEMI 標準規則要求。所提供的微粒尺寸包括半導體國際技術藍圖(ITRS)定義的關鍵的尺寸節點的大小。
Surf-Cal標準品可用來簡化您工廠內校準晶片的準備工作。可提供的微粒尺寸與儀器生產商要求的校準點大小一致。
將Surf-Cal 系列NIST 溯源的聚苯乙烯微粒置於特別選定的晶片上，您就可以執行定期校準檢查，並可將您的掃描儀與其他地方的掃描儀進行對比。
您也可以在生產過程中的關鍵階段對SSIS 系統進行性能評估。
這一系列標準品懸浮於過濾過的去離子水中，濃度3 x10 8個微粒/ mL，包裝單位：50ml/瓶裝。1.112um（貨號：PD1100）及以下粒徑還提供濃度為10 10個微粒/mL 的濃度產品，主要用於微分遷移率分析儀（DMA）或其它尺寸排除技術輔助的領域。
測量方法
為了確保能直接溯源至NIST，這些產品獲得認證的直徑是通過投射電子顯微鏡，或光學顯微鏡由NIST標準參考物質轉移而得的。不確定度是根據NIST技術註釋1297, 1994版“評估與表達NIST測定結果不確定度的導則”計算而得。認證證書中標明的不確定度值是採用覆蓋因子2(K=2)擴展後的不確定度。峰值直徑是採用微粒尺寸分佈± 2s的範圍計算而得。計算的尺寸分佈作為峰值的標準偏移圖。變異係數是指一個標準差與峰值直徑的百分比。FWHM分佈是半峰值高的分佈佔據峰值直徑的百分比計算而得的。
Surf-Cal系列微球產品列表：
| 訂購貨號 | 產品描述（名稱，粒徑，濃度，體積） | 包裝單位/瓶 |
| PD-047 | Surf-Cal系列標準微球，0.047µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-047B | Surf-Cal系列標準微球，0.047µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-064 | Surf-Cal系列標準微球，0.064µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-064B | Surf-Cal系列標準微球，0.064µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-083 | Surf-Cal系列標準微球，0.083µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-083B | Surf-Cal系列標準微球，0.083µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-092 | Surf-Cal系列標準微球，0.092µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-092B | Surf-Cal系列標準微球，0.092µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-100 | Surf-Cal系列標準微球，0.100µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-100B | Surf-Cal系列標準微球，0.100µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-125 | Surf-Cal系列標準微球，0.126µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-125B | Surf-Cal系列標準微球，0.126µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-155 | Surf-Cal系列標準微球，0.155µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-155B | Surf-Cal系列標準微球，0.155µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-200 | Surf-Cal系列標準微球，0.202µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-200B | Surf-Cal系列標準微球，0.202µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-204 | Surf-Cal系列標準微球，0.204µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-204B | Surf-Cal系列標準微球，0.204µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-215 | Surf-Cal系列標準微球，0.220µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-215B | Surf-Cal系列標準微球，0.220µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-305 | Surf-Cal系列標準微球，0.304µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-305B | Surf-Cal系列標準微球，0.304µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-365 | Surf-Cal系列標準微球，0.360µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-365B | Surf-Cal系列標準微球，0.360µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-500 | Surf-Cal系列標準微球，0.494µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-500B | Surf-Cal系列標準微球，0.494µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-800 | Surf-Cal系列標準微球，0.809µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-800B | Surf-Cal系列標準微球，0.809µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-802 | Surf-Cal系列標準微球，0.802µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-802B | Surf-Cal系列標準微球，0.802µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD1100 | Surf-Cal系列標準微球，1.112µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD1100B | Surf-Cal系列標準微球，1.112µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD1600 | Surf-Cal系列標準微球，1.59µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD2000 | Surf-Cal系列標準微球，2.01µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD3000 | Surf-Cal系列標準微球，3.04µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
