表面微粒子計數器(SURFACE PARTICLE COUNTER, SPC)

表面微粒子計數器(SURFACE PARTICLE COUNTER, SPC)

了解大型粒子的存在—由於5um以上的粒子,無法從坊間的粒子計數器(air particle couter, APC)檢出, 對於無塵室潔淨度的誤解於是從這裡開始
根據ISO14644-1對無塵室等級的規範-它針對0.1um~5um大小的顆粒做監控, 也因此客戶以為在高等級的無塵室中既然量不到，則誤認為大於5um的污染粒子應該也很少吧!!

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了解大型粒子的存在—由於5um以上的粒子,無法從坊間的粒子計數器(air particle couter, APC)檢出, 對於無塵室潔淨度的誤解於是從這裡開始

根據ISO14644-1對無塵室等級的規範-它針對0.1um~5um大小的顆粒做監控, 也因此客戶以為在高等級的無塵室中既然量不到，則誤認為大於5um的污染粒子應該也很少吧!!
真實的狀況是-在高等級無塵室中，即使空氣中極為乾淨，大型粒子依然大量存在各個表面。
大型粒子無法經由換氣或濾網除去,只會因重力自然落下容易沈積的。

大型粒子,只能透過有效的清掃來排除。
定義關鍵粒子大小與濃度開始

ISO14644-1:規範專注於小顆粒


ISO14644-9:規範專注於表面大顆粒


粒子不分大小一律完全排除,這樣的代價極高,也不必要,
建議先定義有風險的「粒子尺寸」與「容許濃度」

表面微粒子計數器 SPC (Surface Particle Counter)的第一步就是定義出專屬於你的合理規格

 

大型顆粒飛行軌跡通常在污染產生源附近

 

換氣率提高, 並無法改善大型顆粒數量

產品污染的源頭, 就是附著於表面大於2 um的大型顆粒, 讓PartSens為您把關

  • 數秒內所有表面的粒子直徑數量，統計成報表。
  • 可區別粒子種類 : 金屬,非金屬、纖維，以不同顏色表示。
  • 専用取樣墊片,直接取樣,直接分析.
  • 符合ISO14644-1:無塵室潔淨度等級分類標準(0.1um-5 um)

  • ISO14644-9:表面潔淨度SPC分級標準(0.05um-500 um)

  • ISO14644-13:表面清潔以達到顆粒和化學等分類潔淨度標準
  • VDA19.2:汽車零件清潔度測試方法

1、即時監測表面顆粒沉積率(Particle Deposition Rate, PDR)

 

2、建立顆粒沉積率管制標準(Particle Deposition Rate Limit, PDRL)作為表面潔淨度

3、即時監控紀錄粒子落下發生的高峰時間,進一步比對發生當下的人、事、物行為,找出引發落塵的「程序」「行為」。

 

4、ISO等國際標準,已經要求用PDR(數據化)作為落下粒子的有效管控標準。

5、在生產區域佈建APMON,可監控15um大小上的粒子堆積(最短採樣區間:五分鐘)，具軟體可顯示沉積趨勢及顆粒大小變化

 

6、可透過藍芽、或有線網路做遠端監控

 

7、ISO14644-17 : 2021-顆粒沉積率的應用:計算特定表面所需的顆粒遮蔽率並降低沉積顆粒的風險。

 

計算特定表面所需的顆粒遮蔽率並降低沉積顆粒的風險。

日本ＩＮＴＥＣＨＮＯ公司領先技術, 針對不同原理之表面微粒子計數器（Surface Particle Counter, SPC)， 所依據的14644之規範不同

INTECHNO 不同表面微粒子計數器SPC依據不同ISO法規-拓生科技

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