ISO14644-1:2015 法規最新修訂內容

美國聯邦標準 Federal STD-209 已長時間被使用, 其定義為一立方英呎(1ft3) 中的 0.5μm 以上的粒子數目。目前,ISO 14644-1 已成為世界上唯一評估潔淨室等級的國際標準.

ISO 14644-1 於 1999 年發表, 在 2015 年 12 月進行了 16 年來的第一次修正,修正後為ISO 14644-1:2015

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