ISO14644-1:2015 法規最新修訂內容

美國聯邦標準 Federal STD-209 已長時間被使用, 其定義為一立方英呎(1ft3) 中的 0.5μm 以上的粒子數目。目前,ISO 14644-1 已成為世界上唯一評估潔淨室等級的國際標準.

ISO 14644-1 於 1999 年發表, 在 2015 年 12 月進行了 16 年來的第一次修正,修正後為ISO 14644-1:2015

潔淨室標準(ISO 14644-1:2015)

ISO 14644-1:2015為最新潔淨室空氣潔淨度標準

美國聯邦標準 Federal STD-209 已長時間被使用, 其定義為一立方英呎(1ft3) 中的 0.5μm 以上的粒子數目。目前,ISO 14644-1 已成為世界上唯一評估潔淨室等級的國際標準.

ISO 14644-1 於 1999 年發表, 在 2015 年 12 月進行了 16 年來的第一次修正,修正後為ISO 14644-1:2015

主要修正內容

●低濃度微粒粒子上限濃度的廢除

 

ISO 14644-1:2015 潔淨度等級之上限濃度(個/m3)

潔淨室等級 上限濃度(個/m3)
ISO14644-1 Fed. Std-209E 0.1 μm 0.2 μm 0.3 μm 0.5 μm 1.0 μm 5.0 μm
Class 1 10 廢除
Class 2 100 24 10 廢除
Class 3 Class 1 1,000 237 102 35 廢除
Class 4 Class 10 10,000 2,370 1,020 352 83
Class 5 Class 100 100,000 23,700 10,200 3,520 832 廢除
Class 6 Class 1,000 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293
Class 7 Class 10,000 352,000 83,200 2,930
Class 8 Class100,000 3,520,000 832,000 29,300
Class 9 35,200,000 8,320,000 293,000

 

 

● 潔淨室之認證測試的 95%UCL 廢除,每平方公尺的測量點數量更改(平方根的規則廢除)
修正前潔淨室的測量點最小數目為「測量點數=√待測面積」所決定、改訂後為「Table A.1」指定的測

量點的數量。

●指定測量次數刪除

修正前,若只有一個測量點位,則該點必須測量至少三次,修正後不再要求測量次數。
「Table A.1」
潔淨室的面積(m2) ≦ 最小測定點數(NL)
2 1
4 2
6 3
8 4
10 5
24 6
28 7
32 8
36 9
52 10
56 11
64 12
68 13
72 14
76 15
104 16
108 17
116 18
148 19
156 20
192 21
232 22
276 23
352 24
436 25
636 26
1000 27
>1000 NL=27 x (面積/1000)
(TSI微粒子計數器系列產品)
Model 採樣空氣流量 測量粒徑範圍   類型  
9110 28.3 L/min 0.1/0.15/0.2/0.25/0.3/0.5/1.0/5.0 μm 桌上型
9310 28.3 L/min 0.3/0.5/1.0/3.0/5.0/10.0 μm
9350 50 L/min 0.3/0.5/1.0/3.0/5.0/10.0 μm
9510 28.3 L/min 0.5/0.7/1.0/3.0/5.0/10.0 μm
9550 50 L/min 0.5/0.7/1.0/3.0/5.0/10.0 μm
9500 100 L/min 0.5/0.7/1.0/3.0/5.0/10.0 μm
9303 2.83 L/min 0.3/0.5 (1.0/2.0/2.5) /5.0 μm 手持式
9306 2.83 L/min 0.3/0.5/1.0/3.0/5.0/10.0 μm
7301/7501 2.83 L/min 0.3/0.5, 0.5/5.0 μm 遠端全場監控
7310/7510 28.3 L/min 0.3/0.5, 0.5/5.0 μm