提高無塵室換氣率無法除大顆粒

ISO 14644-1說明取樣系統造成顆粒沉積損失,以及較低濃度,所以大於1 um顆粒依此法規做無塵等級分類不適合,顆粒越大,換氣率對其影響越不顯著—換氣帶不走大顆粒,只能帶走小顆粒ISO 14644-1說明大於1um濃度低難偵測。

大型粒子的飛散軌跡的研究發現顆粒大小,相對於在空氣中飛行距離而言,顆粒越小飛行越遠,顆粒越大飛行越近.所以大型顆粒產生的來源,一般都是機械運作、震動、衣服、操作者自身,或是衣服等等因素造成,而且會掉在發塵源本身附近,而小顆粒可能來源是各種不同來源的顆粒,隨著氣流的吹動、擾動,被攜帶到無塵室的各個角落,通常是顆粒性的非金屬性質來源,而這些小顆粒雖然可以利用現行的ISO 14644-1法規,以及Air Particle Counter, APC 做無塵等級的分類,但是大顆粒現行的量測工具,無法有效採樣,在風險管理上一直是個迷無法掌握,也無法管理.

不過在現行ISO 14644-17:2021已經公布了表面顆粒沉降標準(Particle Deposition Rate, PDR)的管理要求, 要求各類無塵室場所訂點其顆粒沉降標準管制(Particle Deposition Rate Limit, PDRL),要實現此管理規範,需要表面微粒子計數器(Surface Particle Counter, SPC)才可以實現