在半導體製程中，每一顆塵粒都可能成為良率下降的致命關鍵，而鞋底所攜帶的粒子污染，正是無塵室內部交叉汙染的高風險來源。即使採用潔淨服、風淋室等標準設備，若鞋底清潔不到位，仍可能在進入無塵區時將微粒帶入敏感製程區域。尤其在晶圓前段製程或光阻塗佈等高精密環節，潔淨度的微幅差異，皆可能造成產品缺陷。為降低交叉汙染風險、提升製程穩定性，導入系統性的鞋底清潔對策勢在必行。本文將深入剖析5種常見且有效的無塵室鞋底清潔策略，協助半導體廠區建立更堅實的潔淨防線。
1. 傳統腳踏黏墊的侷限
腳踏黏墊雖為最常見且低成本的防護工具，但在實際使用中往往出現下列問題：
- 附著力會遞減：表面黏性隨踩踏次數下降，效力不連續
- 無法深入清潔：鞋底溝槽殘留粒子不易清除
- 人為疏忽風險高：黏墊沒換、踩過不留痕、以為有清其實沒清
- 不符ESG要求：高耗材、高塑膠廢棄量
對於出入密集的高階廠區來說，黏墊往往成為「看似有做、實際無效」的偽保護。
2. 濕式清洗搭配吸水乾燥
要有效去除鞋底上的污染物，單靠黏貼不足以對抗微粒與油脂附著。較完整的作法是結合：
- 水洗＋毛刷摩擦：透過濕式旋轉毛刷剝離粒子與污垢
- 高分子吸水墊：可去除多餘水分，防止濕腳進入無塵區
這樣的流程可使鞋底在「離開外部」與「進入潔淨區」之間，完成一次真正的轉換與隔離，減少交叉污染的機率。
3. 導入自動化鞋底清潔設備
許多半導體廠已從黏墊過渡至自動化清潔設備，具體優勢如下：
- 感應啟動，減少人為操作誤差
- 刷洗、吸水一體化，提高效率
- 可程式控制，配合進出規範
- 可整合門禁與風淋系統，建立流程閉環
這類設備特別適合部署於Clean to Dirty、Critical Zone Entrance、風淋室前後等關鍵進出口點。
4. AVANT智能鞋底清潔機介紹（ISCM）
AVANT智能鞋底清潔機是一款結合紅外線啟動、濕式清洗與乾燥吸水的智慧清潔設備，專為高潔淨需求的產業設計，特別適用於半導體、生技與GMP等環境。
主要特色：
- 紅外感應 + 微電腦控制：人員經過即自動啟動清潔程序
- 清洗結構：毛刷水洗鞋底、清水循環清潔刷頭
- 吸水乾燥：高分子PVA海綿吸除殘水，避免二次污染
- 支援門禁整合：可連動風淋室、打卡、門鎖系統
- 通過國際認證：CE、ISO 9001、ISO 13485、SGS-ROHS等
規格型號：
| 型號 | 結構型式 | 適用場合 |
|---|---|---|
| T系列 | 履帶式 | 一般廠務鞋、防靜電鞋 |
| B系列 | 滾筒式 | 鞋底紋路較深、清潔需求較強 |
5. 乾刷式鞋底清潔機：無水清潔解決方案
相較濕洗系統，乾刷式清潔設備提供另一種靈活選擇，適用於無法安裝排水系統、限制用水的半開放空間或二線出入口。
技術特性：
- 不需用水：清潔過程完全依賴刷毛摩擦＋強力吸塵
- 滾筒毛刷設計：5mm鞋底溝槽亦可有效刷除
- 紅外線感應控制：使用歐姆龍感應器，感應啟動設備
- 雙旋鈕調整：可調整刷洗與吸塵的每次運作時間
- 吸塵裝置：飛塵由吸塵馬達處理，較大顆粒則掉入兩個集塵盒
- 材質與設計：不鏽鋼機身，耐用、防腐蝕
- 維護簡便：集塵盒可抽出清理，無需停機拆解
- 產品保固：1年內故障免費提供備品與更換教學
適用情境：
- 設備搬運出入口、非濕區通道、用水不便的廠房
- 鞋底污染程度較低但仍需日常清潔的空間
濕式 vs 乾式鞋底清潔設備比較表
| 清潔方式 | AVANT濕式清潔機 | 乾刷式清潔機 |
|---|---|---|
| 是否使用清水 | 是（循環水系統） | 否（純刷洗＋吸塵） |
| 清潔機構 | 毛刷濕洗＋PVA吸水海綿 | 滾筒毛刷＋吸塵＋集塵盒 |
| 適用鞋底狀況 | 髒污中高、油汙、靜電等 | 一般粉塵或乾性微粒 |
| 安裝需求 | 需供水排水 | 不需供水排水，僅需電源 |
| 維護方式 | 清水補充＋吸水墊更換 | 集塵盒清理，定期檢查毛刷與吸塵器 |
| 適用位置 | 主入口、風淋室前、核心區 | 次入口、廠房邊界、乾區通道 |
打造鞋底潔淨防線，確保製程穩定無誤
面對2025年後更加嚴格的無塵室潔淨規範，鞋底污染的防範不容忽視。選擇合適的清潔策略──從靜電吸塵墊、滾輪黏塵、黏貼式膠墊到智能自動清潔設備，每一項方案都必須根據現場製程需求與潔淨等級謹慎評估。唯有建立完整的鞋底管理機制，才能有效阻絕交叉汙染、維持高良率生產環境，為企業在全球半導體競局中搶得先機。
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