在無塵室管理中,「空氣品質穩定性」往往決定了製程良率與產品可靠度,而微粒子計數器正是確保空氣潔淨度達標的關鍵設備。透過即時監測懸浮微粒濃度,不僅能及早發現污染源,更能有效評估空調系統與濾網運作效能。尤其在2025年,隨著製造標準日益嚴格,如何善用微粒子計數器來提升無塵室效率,成為高科技、生技醫療、精密製造等產業的重要課題。本篇將帶你掌握空氣品質管理的 5 大技巧,讓潔淨環境維持在最佳狀態。
1. 選擇適合場域的微粒子計數器類型
不同產業的無塵室需求不一,選擇合適的設備至關重要:
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- 手持式計數器(如 TSI 9303):適合例行巡檢、操作靈活。
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- 桌上型/落地型計數器(如 TSI 9310):提供更多通道與高解析度數據。
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- 遠端即時監控型(如 TSI AeroTrak 7000):可整合系統與中央管理平台,即時預警。
✔ 建議:優先考量監測頻率、粒徑範圍與法規需求(如 ISO 14644-1、EU GMP)。

2. 定期校正設備,確保數據準確性
根據 ISO 21501-4 規範,微粒子計數器每年至少須校正一次,以確保光學感測器精度維持穩定。若未定期校正,設備可能因雷射光源老化而產生偏差,導致數據不符實際狀況。
✔ 建議:選擇具 TAF 認證的校正實驗室,並保留完整報告供稽核追溯。
3. 建構多點監測網路,掌握全區風險
單點數據無法反映整體空間風險,建議在關鍵區域設置多台微粒子計數器,進行區域性比較與趨勢追蹤。遠端型機種可連接 BMS 或 EMS 系統,自動傳輸數據,減少人為干擾。
✔ 建議安裝位置:
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- 潔淨區出風口、回風口
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- 物流動線交界處
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- 生產機台周圍
4. 善用圖像與趨勢報表,精準分析異常原因
現代微粒子計數器內建圖表生成與報表輸出功能,可視化資料有助於異常事件溯源與 SOP 調整。部分高階型號(如 TSI AeroTrak 系列)支援整合儀器聯網、自動警報設定、時間軸紀錄等功能。
✔ 建議:搭配空調、壓差與溫濕度資料交叉比對,更能洞察系統運作異常的根源。
5. 結合空氣濾淨設備效能驗證
微粒子計數器也可作為濾網效率驗證的重要工具,協助確認 HEPA 或 ULPA 濾網安裝是否正確、效能是否衰退。尤其在更換濾網或清潔作業後,務必再次檢測空氣品質。
✔ 建議:搭配 PAO 漏風測試進行全區潔淨度驗證,有效避免局部污染未察。
不同應用場景對應推薦型號
型號 | 圖 | 主要特點 | 適用場景 | 優勢 |
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TSI 9303 | ![]() |
便攜式,高精度,廣泛測量範圍,數據存儲功能 | 各種環境快速測量 | 便利性高,量測簡單,性價比高的選擇 |
AeroTrak+A100-50 | ![]() |
大流量,每分鐘100升,多通道測量 | 生物醫藥業, A級區,針劑製藥等一立方公尺取樣體積環境 | 高精度,高流量測量,多通道數據分析, CFR Part11數據管理及追溯, 三級管理權限, IQ/OQ/PQ確效文件 |
表面大顆粒SPC微粒子計數器 | ![]() |
ISO 14644-9表面大顆粒分級管理標準, ISO 14644-17最新顆粒沉降係數風險管理 | Parts Clean, 機器/物件表面大型顆粒殘留 | 取代ISO 14644-1, 小型懸浮顆粒0.1 um-5 um之無塵室潔淨度分級管理 |
AeroTrak+A100-31 | ![]() |
高精度,1 CFM/每分鐘28.3升,穩定測量性能,友好操作界,市面上最普及, 最符合標準, 內建法規級標準量測方式, 測試報各判別Pass/Fail | 各大半導體,光電廠/封裝測試/適合從Class 1-Class9等環境 | 便於攜帶,適合日常監測以及廠房驗收和品質管制 |
AeroTrak+ 7000/6000系列 | ![]() |
適合遠距連續監測, 高性能,檢測0.2-25微米,多通道測量,有內建pump和外接Pump | 潔淨室,製藥工業 | 施工便利, 品質穩定,適合連續24小時偵測,更適合精密環境, 實現即時監測的 |

微粒子監控的最佳策略:主動掌握,系統思維
微粒子計數器不僅是一項儀器,更是企業落實潔淨室管理與風險控制的核心工具。從選型、安裝、操作到數據解析,每一環節都攸關整體環境品質的穩定與合規。當你能夠將這些技巧真正落實在管理系統中,潔淨室的運作效率與空氣品質自然會提升至全新水準。2025 年,是該升級的時候了。