在高度仰賴精密製程的產業中，無塵室的潔淨度控制幾乎決定了產品良率與生產安全。而「潔淨度」的核心指標，正是空氣中微粒子的濃度。隨著各國標準（如 ISO 14644、GMP 規範）不斷更新，微粒子計數器早已不是選配工具，而是潔淨室監控系統中不可或缺的標配設備。
2025 年市面上的微粒子計數器款式愈加多元，不同品牌、流量、感測範圍與功能配置，讓採購者眼花撩亂。本文將帶你掌握選購重點，從原理到規格、從應用到實例，協助你在預算與效能間做出最合適的抉擇。
微粒子計數器的工作原理與種類
常見的運作方式：米氏散射技術（Mie scattering）
微粒子計數器多採用米氏散射原理，利用光源照射空氣中的粒子，當粒子散射光線時，感測器會接收並轉換為電訊號，以計算不同粒徑的粒子數量。這項技術能同時偵測多種粒徑區間，常見有 0.3μm、0.5μm、1.0μm 以上等級。
主要分類
| 類型 | 特點說明 | 適用場域 |
|---|---|---|
| 手持式計數器 | 體積小巧、操作簡便，適合現場快速檢測 | 初階驗證、現場稽查 |
| 桌上型計數器 | 資料儲存、輸出完整，支援多通道偵測 | 中小型無塵室、生產線日常監控 |
| 高流量型計數器 | 高達 100 LPM（公升/分鐘）以上的流量，適合大面積掃描 | 半導體 FAB、生醫 GMP 廠 |
| 遠距型感測器 | 可佈點即時回傳數據、支援中央監控系統 | 智慧化潔淨室佈局、長期環境監控 |
2025年推薦微粒子計數器型號精選
針對不同使用需求，以下是幾款 2025 年最具代表性的微粒子計數器推薦：
| 型號 | 圖 | 主要特點 | 適用場景 | 優勢 |
|---|---|---|---|---|
| TSI 9303 |  |
便攜式，高精度，廣泛測量範圍，數據存儲功能 | 各種環境快速測量 | 便利性高，量測簡單，性價比高的選擇 |
| AeroTrak+A100-50 |  |
大流量，每分鐘100升，多通道測量 | 生物醫藥業, A級區,針劑製藥等一立方公尺取樣體積環境 | 高精度，高流量測量，多通道數據分析, CFR Part11數據管理及追溯, 三級管理權限, IQ/OQ/PQ確效文件 |
| 表面大顆粒SPC微粒子計數器 |  |
ISO 14644-9表面大顆粒分級管理標準, ISO 14644-17最新顆粒沉降係數風險管理 | Parts Clean, 機器/物件表面大型顆粒殘留 | 取代ISO 14644-1, 小型懸浮顆粒0.1 um-5 um之無塵室潔淨度分級管理 |
| AeroTrak+A100-31 |  |
高精度，1 CFM/每分鐘28.3升，穩定測量性能，友好操作界,市面上最普及, 最符合標準, 內建法規級標準量測方式, 測試報各判別Pass/Fail | 各大半導體,光電廠/封裝測試/適合從Class 1-Class9等環境 | 便於攜帶，適合日常監測以及廠房驗收和品質管制 |
| AeroTrak+ 7000/6000系列 |  |
適合遠距連續監測, 高性能，檢測0.2-25微米，多通道測量，有內建pump和外接Pump | 潔淨室，製藥工業 | 施工便利, 品質穩定,適合連續24小時偵測,更適合精密環境, 實現即時監測的 |
微粒子計數器選購要點
選擇微粒子計數器時，建議從以下幾個面向評估：
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- 偵測粒徑範圍：是否符合目標潔淨等級，如 ISO 5 要求 0.5μm 以下粒子控制。
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- 通道數量與解析度：多通道能同時追蹤不同粒徑，提高資料價值。
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- 流量大小（LPM）：流量愈高，掃描速度愈快，適合大面積或快速驗證場域。
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- 數據管理功能：是否能導出報表、支援連網、遠端監控。
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- 校正與認證：是否符合 ISO 21501-4 或 EU GMP Annex 1 等標準，並具備 TAF 或 ISO 17025 校正。
微粒子計數器與落塵計數器的差異比較
| 項目 | 微粒子計數器 | 落塵計數器 |
|---|---|---|
| 偵測方式 | 主動式抽氣雷射散射 | 被動式依重力落塵收集 |
| 偵測時間 | 快速（幾十秒至數分鐘） | 長時間（30 分鐘至數小時） |
| 可偵測粒徑 | 0.3μm～10μm 不等 | 通常針對 ≥5μm 顆粒 |
| 優點 | 數據即時、可量化分析、支援自動化 | 設備簡單、成本低 |
| 適用場合 | 高潔淨要求（ISO Class 1–7） | 一般空調區、作為趨勢分析 |
常見應用場域與佈點策略
為了發揮計數器的最大效能，合理的佈點規劃是成功關鍵：
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- 潔淨室進出口：偵測污染源是否來自人員或物料移動。
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- 生產核心作業區域：掌握製程過程中顆粒變化情形。
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- 空調回風口與高效濾網前後：評估空氣過濾效能與濾網壽命。
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- 儀器操作台與關鍵工站：細部確認污染趨勢。
打造符合標準的無塵室，從選對微粒子計數器開始
隨在潔淨室管理日趨嚴謹的當下，選對一台高效穩定的微粒子計數器，不僅能強化空氣品質管理流程，更是通過各類國際驗證的基礎條件之一。無論你是新建場域、系統升級，或面對嚴格稽核挑戰，2025 年的型號選擇空前多元，建議根據實際用途、標準要求與長期維運成本，制定合適選型策略。