在高度仰賴精密製程的產業中，無塵室的潔淨度控制幾乎決定了產品良率與生產安全。而「潔淨度」的核心指標，正是空氣中微粒子的濃度。隨著各國標準（如 ISO 14644、GMP 規範）不斷更新，微粒子計數器早已不是選配工具，而是潔淨室監控系統中不可或缺的標配設備。

2025 年市面上的微粒子計數器款式愈加多元，不同品牌、流量、感測範圍與功能配置，讓採購者眼花撩亂。本文將帶你掌握選購重點，從原理到規格、從應用到實例，協助你在預算與效能間做出最合適的抉擇。

微粒子計數器的工作原理與種類

常見的運作方式：米氏散射技術（Mie scattering）

微粒子計數器多採用米氏散射原理，利用光源照射空氣中的粒子，當粒子散射光線時，感測器會接收並轉換為電訊號，以計算不同粒徑的粒子數量。這項技術能同時偵測多種粒徑區間，常見有 0.3μm、0.5μm、1.0μm 以上等級。

主要分類

類型	特點說明	適用場域
手持式計數器	體積小巧、操作簡便，適合現場快速檢測	初階驗證、現場稽查
桌上型計數器	資料儲存、輸出完整，支援多通道偵測	中小型無塵室、生產線日常監控
高流量型計數器	高達 100 LPM（公升/分鐘）以上的流量，適合大面積掃描	半導體 FAB、生醫 GMP 廠
遠距型感測器	可佈點即時回傳數據、支援中央監控系統	智慧化潔淨室佈局、長期環境監控

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2025年推薦微粒子計數器型號精選

針對不同使用需求，以下是幾款 2025 年最具代表性的微粒子計數器推薦：

型號	圖	主要特點	適用場景	優勢
TSI 9303		便攜式，高精度，廣泛測量範圍，數據存儲功能	各種環境快速測量	便利性高，量測簡單，性價比高的選擇
AeroTrak+A100-50		大流量，每分鐘100升，多通道測量	生物醫藥業, A級區,針劑製藥等一立方公尺取樣體積環境	高精度，高流量測量，多通道數據分析, CFR Part11數據管理及追溯, 三級管理權限, IQ/OQ/PQ確效文件
表面大顆粒SPC微粒子計數器		ISO 14644-9表面大顆粒分級管理標準, ISO 14644-17最新顆粒沉降係數風險管理	Parts Clean, 機器/物件表面大型顆粒殘留	取代ISO 14644-1, 小型懸浮顆粒0.1 um-5 um之無塵室潔淨度分級管理
AeroTrak+A100-31		高精度，1 CFM/每分鐘28.3升，穩定測量性能，友好操作界,市面上最普及, 最符合標準, 內建法規級標準量測方式, 測試報各判別Pass/Fail	各大半導體,光電廠/封裝測試/適合從Class 1-Class9等環境	便於攜帶，適合日常監測以及廠房驗收和品質管制
AeroTrak+ 7000/6000系列		適合遠距連續監測, 高性能，檢測0.2-25微米，多通道測量，有內建pump和外接Pump	潔淨室，製藥工業	施工便利, 品質穩定,適合連續24小時偵測,更適合精密環境, 實現即時監測的

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微粒子計數器選購要點

選擇微粒子計數器時，建議從以下幾個面向評估：

• • 偵測粒徑範圍：是否符合目標潔淨等級，如 ISO 5 要求 0.5μm 以下粒子控制。

• • 通道數量與解析度：多通道能同時追蹤不同粒徑，提高資料價值。

• • 流量大小（LPM）：流量愈高，掃描速度愈快，適合大面積或快速驗證場域。

• • 數據管理功能：是否能導出報表、支援連網、遠端監控。

• • 校正與認證：是否符合 ISO 21501-4 或 EU GMP Annex 1 等標準，並具備 TAF 或 ISO 17025 校正。

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微粒子計數器與落塵計數器的差異比較

項目	微粒子計數器	落塵計數器
偵測方式	主動式抽氣雷射散射	被動式依重力落塵收集
偵測時間	快速（幾十秒至數分鐘）	長時間（30 分鐘至數小時）
可偵測粒徑	0.3μm～10μm 不等	通常針對 ≥5μm 顆粒
優點	數據即時、可量化分析、支援自動化	設備簡單、成本低
適用場合	高潔淨要求（ISO Class 1–7）	一般空調區、作為趨勢分析

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常見應用場域與佈點策略

為了發揮計數器的最大效能，合理的佈點規劃是成功關鍵：

• • 潔淨室進出口：偵測污染源是否來自人員或物料移動。

• • 生產核心作業區域：掌握製程過程中顆粒變化情形。

• • 空調回風口與高效濾網前後：評估空氣過濾效能與濾網壽命。

• • 儀器操作台與關鍵工站：細部確認污染趨勢。

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打造符合標準的無塵室，從選對微粒子計數器開始

隨在潔淨室管理日趨嚴謹的當下，選對一台高效穩定的微粒子計數器，不僅能強化空氣品質管理流程，更是通過各類國際驗證的基礎條件之一。無論你是新建場域、系統升級，或面對嚴格稽核挑戰，2025 年的型號選擇空前多元，建議根據實際用途、標準要求與長期維運成本，制定合適選型策略。

在無塵室管理中，「空氣品質穩定性」往往決定了製程良率與產品可靠度，而微粒子計數器正是確保空氣潔淨度達標的關鍵設備。透過即時監測懸浮微粒濃度，不僅能及早發現污染源，更能有效評估空調系統與濾網運作效能。尤其在2025年，隨著製造標準日益嚴格，如何善用微粒子計數器來提升無塵室效率，成為高科技、生技醫療、精密製造等產業的重要課題。本篇將帶你掌握空氣品質管理的 5 大技巧，讓潔淨環境維持在最佳狀態。

1. 選擇適合場域的微粒子計數器類型

不同產業的無塵室需求不一，選擇合適的設備至關重要：

• • 手持式計數器（如 TSI 9303）：適合例行巡檢、操作靈活。

• • 桌上型/落地型計數器（如 TSI 9310）：提供更多通道與高解析度數據。

• • 遠端即時監控型（如 TSI AeroTrak 7000）：可整合系統與中央管理平台，即時預警。

✔ 建議：優先考量監測頻率、粒徑範圍與法規需求（如 ISO 14644-1、EU GMP）。

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2. 定期校正設備，確保數據準確性

根據 ISO 21501-4 規範，微粒子計數器每年至少須校正一次，以確保光學感測器精度維持穩定。若未定期校正，設備可能因雷射光源老化而產生偏差，導致數據不符實際狀況。

✔ 建議：選擇具 TAF 認證的校正實驗室，並保留完整報告供稽核追溯。

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3. 建構多點監測網路，掌握全區風險

單點數據無法反映整體空間風險，建議在關鍵區域設置多台微粒子計數器，進行區域性比較與趨勢追蹤。遠端型機種可連接 BMS 或 EMS 系統，自動傳輸數據，減少人為干擾。

✔ 建議安裝位置：

• • 潔淨區出風口、回風口

• • 物流動線交界處

• • 生產機台周圍

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4. 善用圖像與趨勢報表，精準分析異常原因

現代微粒子計數器內建圖表生成與報表輸出功能，可視化資料有助於異常事件溯源與 SOP 調整。部分高階型號（如 TSI AeroTrak 系列）支援整合儀器聯網、自動警報設定、時間軸紀錄等功能。

✔ 建議：搭配空調、壓差與溫濕度資料交叉比對，更能洞察系統運作異常的根源。

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5. 結合空氣濾淨設備效能驗證

微粒子計數器也可作為濾網效率驗證的重要工具，協助確認 HEPA 或 ULPA 濾網安裝是否正確、效能是否衰退。尤其在更換濾網或清潔作業後，務必再次檢測空氣品質。

✔ 建議：搭配 PAO 漏風測試進行全區潔淨度驗證，有效避免局部污染未察。

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不同應用場景對應推薦型號

型號	圖	主要特點	適用場景	優勢
TSI 9303		便攜式，高精度，廣泛測量範圍，數據存儲功能	各種環境快速測量	便利性高，量測簡單，性價比高的選擇
AeroTrak+A100-50		大流量，每分鐘100升，多通道測量	生物醫藥業, A級區,針劑製藥等一立方公尺取樣體積環境	高精度，高流量測量，多通道數據分析, CFR Part11數據管理及追溯, 三級管理權限, IQ/OQ/PQ確效文件
表面大顆粒SPC微粒子計數器		ISO 14644-9表面大顆粒分級管理標準, ISO 14644-17最新顆粒沉降係數風險管理	Parts Clean, 機器/物件表面大型顆粒殘留	取代ISO 14644-1, 小型懸浮顆粒0.1 um-5 um之無塵室潔淨度分級管理
AeroTrak+A100-31		高精度，1 CFM/每分鐘28.3升，穩定測量性能，友好操作界,市面上最普及, 最符合標準, 內建法規級標準量測方式, 測試報各判別Pass/Fail	各大半導體,光電廠/封裝測試/適合從Class 1-Class9等環境	便於攜帶，適合日常監測以及廠房驗收和品質管制
AeroTrak+ 7000/6000系列		適合遠距連續監測, 高性能，檢測0.2-25微米，多通道測量，有內建pump和外接Pump	潔淨室，製藥工業	施工便利, 品質穩定,適合連續24小時偵測,更適合精密環境, 實現即時監測的

 

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微粒子監控的最佳策略：主動掌握，系統思維

微粒子計數器不僅是一項儀器，更是企業落實潔淨室管理與風險控制的核心工具。從選型、安裝、操作到數據解析，每一環節都攸關整體環境品質的穩定與合規。當你能夠將這些技巧真正落實在管理系統中，潔淨室的運作效率與空氣品質自然會提升至全新水準。2025 年，是該升級的時候了。

在潔淨室、生技實驗室與高階製造業中，「空氣品質」從不是模糊的感覺，而是實實在在需要精準監測的關鍵指標。微粒子計數器（Particle Counter）正是這類場域中不可或缺的空氣監控儀器。透過科學的檢測機制，它能即時偵測空氣中的懸浮微粒，並依據國際標準進行分級，協助企業掌控風險與提升產品良率。若你想了解這套技術的運作邏輯與背後原理，這篇文章將用最清楚的方式，帶你快速入門。

但微粒子計數器的運作原理究竟是什麼？如何精準測量空氣中的微粒數量與大小？ 本文將用 3 分鐘帶你快速了解微粒子計數器的運作方式、技術原理及應用。

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1. 微粒子計數器的基本概念

什麼是微粒子計數器？

微粒子計數器（Particle Counter）是一種專門用來測量空氣中微粒數量與大小的儀器，適合測0.1-10 um的微粒子顆粒數，並進行分類計數。

根據測量方式，微粒子計數器可分為兩大類：

1. 1. 光學式微粒子計數器（Optical Particle Counter, OPC）

1. 1. 凝結核微粒子計數器（Condensation Particle Counter, CPC）

不同類型的計數器適用於不同環境，以下為主要差異：

微粒子計數器類型	適用範圍	可測粒徑範圍	測量方式
光學式（OPC）	無塵室、製造業	0.1 μm ~ 10 μm	雷射光散射
凝結核（CPC）	環境空氣監測	0.01 μm ~ 1.0 μm	氣溶膠冷凝增大

其中，光學式微粒子計數器（OPC） 是目前工業應用最廣泛的技術，接下來將深入探討其運作原理。

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2. 微粒子計數器的運作原理

光學式微粒子計數技術（OPC）

目前市面上最常見的微粒子計數器，主要採用雷射光散射技術（Laser Scattering Technology）。其運作流程如下：

1. 1. 空氣採樣：空氣透過內部的抽氣泵進入計數器，進行粒子篩選與分流。

1. 1. 雷射光照射：粒子通過雷射光束，光線會因粒子的大小而產生不同程度的散射。

1. 1. 光學感測器偵測：散射光訊號被光電二極體（PIN Diode）或光電倍增管（PMT）接收，轉換為電訊號。

1. 1. 數據分析：根據光散射強度計算粒子大小，並進行分類計數。

關鍵技術：米氏散射Mie scattering理論

雷射散射技術基於米氏散射Mie scattering理論，即當粒子尺寸與雷射波長接近時，光線會產生可測量的散射現象。透過測量散射角度與光強度，即可推算出粒子大小與數量。

步驟	對應技術	作用
空氣採樣	抽氣泵	收集空氣樣本
光照射	雷射光	產生散射現象
光訊號轉換	光電二極體	轉換光信號為電信號
數據處理	Mie 散射理論	計算微粒大小與數量

這種技術可以提供即時、連續的空氣品質監測，適用於潔淨室、醫療設備、製藥工業、環境監測站等場合。

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3. 微粒子計數器的應用與優勢

應用領域

微粒子計數器廣泛應用於以下領域，以確保空氣潔淨度達到標準：

• • 無塵室（Cleanroom）監測：確保製造環境符合 ISO 14644-1 潔淨度標準。

• • 製藥與生技產業：監測藥品製造過程中的環境微粒，以符合 GMP 規範。

• • 半導體產線：控制空氣懸浮微粒，避免晶圓受污染。

• • 醫療機構與生物安全實驗室：確保手術室、疫苗生產區等空間的空氣品質。

• • 空氣污染監測：環境監測站使用來測量 PM2.5、PM10 濃度，評估空氣品質狀況。

優勢分析

相較於傳統的重力沉降法與濾紙採樣法，光學式微粒子計數器具有以下優勢：

1. 1. 即時監測：可進行連續數據採集，即時反映環境變化。

1. 1. 高靈敏度：可偵測微至 0.1 μm 的微粒，適用於高潔淨度環境。

1. 1. 自動數據記錄：數據可儲存並與中央監控系統連線，方便進行趨勢分析。

1. 1. 快速分析：相較於傳統培養法需要數天，微粒子計數器可在數秒內提供測量結果。

這些優勢使微粒子計數器成為現代空氣品質監測的核心技術，幫助各行業維持高標準的環境控制。

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微粒子計數器是現代空氣品質監測的關鍵工具

隨著空氣污染議題升溫，微粒監測技術已成為各大產業不可或缺的設備。透過光學式微粒子計數技術，我們能夠精準測量空氣中的懸浮微粒，並即時掌握環境品質變化。

微粒子計數器的 3 大核心功能回顧

✔ 透過雷射光散射技術，即時測量空氣微粒數量與大小。
✔ 廣泛應用於無塵室、製藥、半導體、醫療機構與環境監測領域。
✔ 提供高靈敏度、快速分析與即時監測的優勢，提升環境潔淨度管控能力。

為什麼理解微粒子計數原理是企業升級的關鍵？

對於處在高度競爭環境中的製造與研發產業來說，空氣品質不僅關係產品合格率，更牽動整體品牌信任度與市場風險。深入了解微粒子計數器的運作原理，將有助於你做出更準確的選型判斷，優化空間監控策略，並確保作業流程符合 ISO 14644-1、EU GMP 等國際標準。掌握技術背後的邏輯，是邁向高效潔淨管理的重要第一步。

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2024 TSI 微粒子計數器最新款推薦：高效潔淨室監控解決方案
遠距微粒子計數器：即時監控空氣品質的最佳選擇
【2025專業指南】無塵室的最佳選擇：AES-FP 系列粒子感測器

在現代科技與製造領域，微粒子計數器已成為維持無塵室及高潔淨度環境中不可或缺的工具。無論是在半導體製造、醫療設備生產，還是藥品加工等高標準行業中，微粒子的存在可能對產品質量產生致命的影響。因此，使用精確的微粒子計數器來進行空氣潔淨度的監控變得尤為重要。

微粒子計數器是什麼？

微粒子計數器 是一種專門用來檢測空氣中懸浮微粒的儀器。它能夠精準地測量空氣中各種尺寸的微粒濃度，幫助用戶評估無塵室和其他高度潔淨的生產環境的潔淨度。這些設備通常應用於對空氣質量要求極高的行業，包括電子產品製造、醫療器械生產、藥品製造、食品加工以及實驗室操作等。

微粒子計數器的工作原理

微粒子計數器的工作原理基於光學技術，通常通過雷射束來偵測空氣中的微粒。當空氣中的微粒通過雷射光束時，光線會散射，散射的光被檢測器捕捉，並根據微粒的大小和數量進行計算。這些數據能夠提供精確的潔淨度資訊，幫助管理者掌控生產環境的空氣質量。

微粒子計數器的應用範圍

微粒子計數器不僅僅局限於無塵室的監測，它還被廣泛應用於以下範圍：

• 空氣品質檢測：微粒子計數器常被用來監控室內空氣品質，以確保工作環境的健康與安全。
• HEPA 過濾系統測試：在各類過濾器（如HEPA）性能測試中，微粒子計數器被用來評估過濾效率。
• 污染源追蹤：當潔淨室或其他高度潔淨環境出現微粒污染時，微粒子計數器能幫助迅速定位污染源，並進行相應處理。

為什麼選擇 TSI AeroTrak A100-31 微粒子計數器？

TSI AeroTrak A100-31 是2024年推薦的微粒子計數器型號，專為無塵室及其他需要高度潔淨環境的場所設計。該設備不僅具備高效的微粒檢測功能，還提供多項先進技術，滿足不同行業的需求。

TSI AeroTrak A100-31 的技術亮點

特點	詳細說明
檢測範圍	0.3μm – 25μm
數據存儲	25 萬筆數據，長達 6 個月
通訊技術	Wi-Fi & NFC 快速啟動
權限管理	三級權限，確保操作安全
法規支持	內建 ISO 14644-1、EU GMP、中國 GMP 等多國法規

TSI AeroTrak A100-31微粒子計數器 的應用場所

1. 半導體製造
   半導體製造業對空氣中微粒的敏感度極高，任何微小的微粒都可能影響晶片的質量。AeroTrak A100-31 可以提供精準的無塵室潔淨度數據，保證產品質量。
2. 醫療設備生產
   在醫療設備製造過程中，無菌環境尤為重要。AeroTrak A100-31 能夠幫助確保無菌製造環境的潔淨度，避免設備在生產過程中受到污染。
3. 藥品製造與食品加工
   藥品和食品的生產對空氣潔淨度的要求同樣極高。通過使用 AeroTrak A100-31，這些行業能夠精確控制生產環境，並生成符合 GMP 法規的潔淨度報告。

選擇 TSI AeroTrak A100-31 微粒子計數器，能夠確保您所在的行業無論是半導體、醫療設備還是藥品和食品製造，都能夠在符合國際潔淨度標準的環境中生產產品。透過其強大的檢測功能、先進的通訊技術以及數據管理能力，AeroTrak A100-31 微粒子計數器是您2025年最佳的潔淨室管理工具。

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微粒子計數器校正：工業環境中的準確性保障

在潔淨室空氣監控技術持續進化的趨勢下，TSI 作為全球知名的微粒子計數器品牌，在 2025 年再度推出全新機型，備受業界關注。此次亮相的新款設備不僅強化了粒徑偵測的靈敏度與通道數，也大幅提升數據傳輸效率與法規報告的整合能力。對於製藥、生技、半導體與光電等對空氣潔淨度有極高要求的產業來說，新一代 TSI 微粒子計數器無疑為潔淨室管理帶來更高層次的穩定性與效率。本文將搶先解析其技術亮點，並推薦幾款適合 2025 年應用的潔淨室空氣監控設備，協助你做好升級準備。

落塵計數器與微粒子計數器是什麼？

落塵計數器 和 微粒子計數器 都是專門用來測量空氣中懸浮微粒數量的設備，然而它們的應用範圍和測量對象略有不同。落塵計數器主要用於檢測較大尺寸的顆粒，例如塵埃和灰塵，適合於工業製程中的空氣質量監控。而微粒子計數器則能夠檢測到更小的懸浮微粒，適用於需要高度潔淨的無塵室環境。

微粒子計數器的工作原理

微粒子計數器的工作原理主要依賴於光學技術。當空氣中的微粒經過儀器的光學雷射束時，雷射光束會與微粒發生散射，並且散射光會被偵測器捕捉到，根據微粒的大小進行分類和計數。這些數據可用於評估空氣的潔淨度，幫助管理者確保無塵室等環境符合行業標準。

為何空氣品質監測重要？

在製造業中，空氣品質直接關乎產品的質量。無論是半導體晶片還是醫療器材，微粒污染都可能導致嚴重的質量問題。使用微粒子計數器和落塵計數器能夠有效減少空氣中的污染物，維持高品質的作業環境，並降低產品瑕疵率。

微粒子計數器與落塵計數器的應用場景

這些設備適用於多種工業和科研領域，尤其是在高標準的生產環境中。以下是幾個典型的應用場景：

半導體與電子產品製造

半導體製造過程中，空氣中微小的顆粒會影響晶圓和電子產品的性能。微粒子計數器能夠實時監控無塵室的空氣品質，確保產品的可靠性。

醫療設備與藥品製造

在醫療設備和藥品生產中，潔淨的空氣質量是確保產品無菌和有效性的關鍵。微粒子計數器不僅能幫助檢測微粒污染，還能生成符合 GMP 法規的潔淨度報告，提升生產的合規性。

航空航太工業

航空航太工業的生產環境對空氣品質的要求極高。落塵計數器能夠幫助監控較大顆粒的污染物，確保飛機及航太設備在製造過程中的精度和安全性。

頂尖微粒子計數器型號推薦

以下是幾款推薦的微粒子計數器型號及其主要特點：

型號	圖	主要特點	適用場景	優勢
TSI 9303		便攜式，高精度，廣泛測量範圍，數據存儲功能	各種環境快速測量	便利性高，量測簡單，性價比高的選擇
AeroTrak+A100-50		大流量，每分鐘100升，多通道測量	生物醫藥業, A級區,針劑製藥等一立方公尺取樣體積環境	高精度，高流量測量，多通道數據分析, CFR Part11數據管理及追溯, 三級管理權限, IQ/OQ/PQ確效文件
表面大顆粒SPC微粒子計數器		ISO 14644-9表面大顆粒分級管理標準, ISO 14644-17最新顆粒沉降係數風險管理	Parts Clean, 機器/物件表面大型顆粒殘留	取代ISO 14644-1, 小型懸浮顆粒0.1 um-5 um之無塵室潔淨度分級管理
AeroTrak+A100-31		高精度，1 CFM/每分鐘28.3升，穩定測量性能，友好操作界,市面上最普及, 最符合標準, 內建法規級標準量測方式, 測試報各判別Pass/Fail	各大半導體,光電廠/封裝測試/適合從Class 1-Class9等環境	便於攜帶，適合日常監測以及廠房驗收和品質管制
AeroTrak+ 7000/6000系列		適合遠距連續監測, 高性能，檢測0.2-25微米，多通道測量，有內建pump和外接Pump	潔淨室，製藥工業	施工便利, 品質穩定,適合連續24小時偵測,更適合精密環境, 實現即時監測的

TSI AeroTrak A100-31 微粒子計數器：高效的潔淨室解決方案

在選購微粒子計數器時，TSI AeroTrak A100-31 是業界內高度推薦的選擇。這款設備不僅具備先進的技術和多樣化的應用功能，還能適應不同的生產環境需求，從而幫助企業維持高品質的空氣潔淨度。

TSI AeroTrak A100-31 的關鍵特點

特點	詳細說明
檢測範圍	0.3μm – 25μm
數據存儲	25 萬筆數據，長達 6 個月
通訊技術	Wi-Fi & NFC 快速啟動
權限管理	三級權限，確保操作安全
法規支持	內建 ISO 14644-1、EU GMP、中國 GMP 等多國法規

選購微粒子計數器的注意事項

在選購落塵計數器或微粒子計數器時，應考慮以下幾個關鍵因素：

1. 檢測範圍
   根據環境的空氣質量需求，選擇合適的檢測範圍非常重要。大多數無塵室需要能夠檢測到0.3微米及以下的微粒，因此建議選擇能覆蓋此範圍的設備。
2. 數據儲存與分析
   數據儲存容量越大，設備能夠長期記錄的數據越多，對於長期空氣品質監測至關重要。同時，設備是否支持自動生成報告也是值得考慮的因素，這能夠節省大量的時間和人工成本。
3. 設備通訊技術
   如同TSI AeroTrak A100-31所具備的Wi-Fi和NFC功能，選擇支持現代通訊技術的設備能夠提升數據傳輸和分析的便捷性。
4. 權限管理與法規支持
   多層級的權限管理功能可以確保只有授權使用者才能對設備進行操作，這對於多用戶環境中的數據安全至關重要。同時，內建法規支持有助於設備更好地滿足行業標準和合規需求。

領先部署，才能掌握潔淨室監控的主動權

在面對製程極端敏感、空氣品質要求不斷升高的未來環境中，選擇一台性能穩定、法規合規、整合彈性高的微粒子計數器，是企業能否持續達標的關鍵。TSI 所推出的 2025 年新機型，不僅回應了產業的實際監控需求，也重新定義了空氣品質監測的標準。無論你是準備導入全新系統，或正考慮替換舊型設備，現在正是重新評估空氣監控策略的最佳時機。選對設備，就是為潔淨室打下堅實的管理根基。

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在無塵室環境中，空氣中的微粒數量是一切品質控管的起點。無論是在半導體晶圓廠、製藥無菌製程、還是光電元件封裝廠，微粒濃度一旦超標，都可能導致良率下降、驗證失敗，甚至產線停擺。為了即時掌握空氣品質、確保潔淨室等級符合標準，微粒子計數器已成為不可或缺的監控工具。2025 年市場上計數器機型持續推陳出新，功能涵蓋 WiFi 傳輸、自動報告判讀、多通道粒徑分析等，該怎麼挑出一台最適合自己無塵室等級與預算的設備？本篇將從實務需求切入，整理推薦機型與選購重點，協助你做出明智選擇。

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什麼是微粒子計數器？

微粒子計數器 是用於檢測和記錄空氣中懸浮微粒數量的設備，能夠根據不同的粒徑（通常從0.3μm開始）對微粒進行分級計數。它是無塵室維持潔淨度的必備儀器，能夠精確測量空氣品質、發現微粒來源，及時控制污染，從而確保製造過程符合ISO 14644等國際標準。

微粒子計數器在工業無塵室中的重要性

在高科技工業領域，如半導體、光電、製藥、醫療設備等，空氣中極小的微粒都有可能對產品造成嚴重損害。無塵室通過多層過濾系統和嚴格的空氣控制措施來維持一定的潔淨度，而微粒子計數器則負責持續監測空氣中的微粒濃度，確保達到無塵室所需的空氣標準，並即時警示可能的污染問題。

2025最新微粒子計數器評比

以下是幾款市場上熱門的微粒子計數器型號，根據不同的應用需求進行了詳盡比較，從而幫助選擇適合您需求的設備。

型號	圖	主要特點	適用場景	優勢
TSI 9303		便攜式，高精度，廣泛測量範圍，數據存儲功能	各種環境快速測量	便利性高，量測簡單，性價比高的選擇
AeroTrak+A100-50		大流量，每分鐘100升，多通道測量	生物醫藥業, A級區,針劑製藥等一立方公尺取樣體積環境	高精度，高流量測量，多通道數據分析, CFR Part11數據管理及追溯, 三級管理權限, IQ/OQ/PQ確效文件
表面大顆粒SPC微粒子計數器		ISO 14644-9表面大顆粒分級管理標準, ISO 14644-17最新顆粒沉降係數風險管理	Parts Clean, 機器/物件表面大型顆粒殘留	取代ISO 14644-1, 小型懸浮顆粒0.1 um-5 um之無塵室潔淨度分級管理
AeroTrak+A100-31		高精度，1 CFM/每分鐘28.3升，穩定測量性能，友好操作界,市面上最普及, 最符合標準, 內建法規級標準量測方式, 測試報各判別Pass/Fail	各大半導體,光電廠/封裝測試/適合從Class 1-Class9等環境	便於攜帶，適合日常監測以及廠房驗收和品質管制
AeroTrak+ 7000/6000系列		適合遠距連續監測, 高性能，檢測0.2-25微米，多通道測量，有內建pump和外接Pump	潔淨室，製藥工業	施工便利, 品質穩定,適合連續24小時偵測,更適合精密環境, 實現即時監測的

微粒子計數器選購指南

選擇合適的微粒子計數器時，可從以下幾個因素考慮：

1. 1. 測量範圍與靈敏度：對於無塵室需要更精確的空氣控制，建議選擇能檢測較小粒徑（如0.1μm）且靈敏度較高的計數器，確保數據準確。

1. 1. 數據存儲與傳輸功能：帶有大容量存儲空間、WiFi或以太網傳輸功能的計數器，方便長期監測，並能即時將數據傳輸到管理系統中。

1. 1. 法規合規性：支援自動生成 ISO 14644、EU GMP 等法規報告的計數器可節省認證和稽核的流程。

1. 1. 操作便捷性：選擇具備多語言介面和用戶友好的操作界面，尤其適合操作頻繁或多層次操作的環境。

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先進的選擇：A100-31 微粒子計數器

在工業無塵室應用中，A100-31 是一款具備多功能、操作簡便且數據傳輸靈活的理想選擇。其特點包括：

• • 六種粒徑檢測：支持從 0.3μm 到 10μm 的顆粒監測，能精確測量符合無塵室潔淨要求的微粒濃度。

• • WiFi 通訊與數據存儲：支持 WiFi 連接和大容量數據存儲，便於即時監控和遠端數據管理。

• • 內建法規報告功能：自動生成合格與失敗報告，符合多項國際法規要求（如 ISO 14644、EU GMP），為稽核提供穩定的依據。

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2025 無塵室計數器挑選重點回顧

要選出一台真正適合無塵室使用的微粒子計數器，不能只看價格或品牌，而是要從實際應用需求出發。以下三大原則，是 2025 年最值得參考的選購方向：

1. 是否支援所需法規與報告格式：如 ISO 14644-1、EU GMP、中國 GMP 等，能否直接輸出 Pass/Fail 結果報告。

2. 粒徑通道與靈敏度是否足夠：是否能精準監測 0.3μm 以下粒子，並支援多粒徑通道分析。

3. 數據管理與連線功能是否便利：是否具備 WiFi、USB、Modbus 或即時軟體連線功能，利於長期監控與資料整合。

掌握以上挑選關鍵，無論是新建無塵室導入設備，或現有系統升級汰換，都能選出性能穩定、數據準確、法規合規的計數器型號。面對製造環境日益嚴格的要求，現在就是時候為你的無塵室環境添購一台真正可靠的微粒子計數器。

當談到半導體製程，潔淨度從來不是可有可無的條件，而是影響良率與產品可靠度的核心關鍵。微粒子計數器作為無塵室環境監控的重要工具，早已廣泛應用於半導體產線的各個階段，從晶圓製造到封裝測試，皆須精準掌握空氣中粒子的變化。本文將透過5個實際應用情境，帶你深入了解微粒子計數器如何協助企業維持無塵室的高標準潔淨環境，強化製程穩定性與產品品質

透過即時監測微粒濃度，微粒子計數器能有效評估空氣品質，確保環境符合 ISO 14644-1 標準，並幫助製造商掌握污染源，減少產品瑕疵率。本篇文章將探討微粒子計數器如何應用於半導體產線的 5 大關鍵場景，並透過技術數據與標準來分析其重要性。

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1. 無塵室潔淨度監測與驗證

無塵室的等級劃分依據 ISO 14644-1 標準，其中不同等級的空氣微粒濃度限制不同。半導體產線通常要求 Class 1 至 Class 100 的潔淨環境，其中 Class 1 無塵室的 0.1 µm 微粒濃度應低於 10 顆/m³，以確保製程環境穩定。

微粒子計數器的作用

• 持續監測無塵室內的微粒濃度，確保環境符合 ISO 14644-1 標準。
• 在不同測點布置監測設備，識別微粒濃度變化趨勢。
• 在無塵室升級或新建時，驗證潔淨度是否達標，確保生產環境的穩定性。

ISO 14644-1 無塵室等級與允許微粒濃度
Class 1：0.1 µm ≤ 10 顆/m³
Class 10：0.1 µm ≤ 100 顆/m³
Class 100：0.1 µm ≤ 1,000 顆/m³
Class 1,000：0.1 µm ≤ 10,000 顆/m³

由於無塵室內的空氣品質隨著生產活動會有所變動，因此即時監測能幫助製造商及時發現異常，提高整體製造良率。

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2. 關鍵製程環境監測

半導體製程中的 光刻（Lithography）、蝕刻（Etching）、沉積（Deposition）、離子植入（Ion Implantation） 等工序，對微粒污染極度敏感，尤其是 5 奈米以下的先進製程，連 0.1 µm 微粒都可能導致晶圓缺陷。

微粒子計數器的作用

• 在關鍵製程設備周圍布置監測點，確保微粒濃度穩定。
• 搭配空氣過濾系統（HEPA/ULPA），監控污染變化並調整氣流。
• 定期分析數據趨勢，預測可能的污染源並進行預防性維護。

在高精密製程中，空氣品質的即時監測不僅能減少污染風險，也能幫助調整設備的運行條件，避免環境變化影響產品品質。

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3. 人員與物料進出監測

在無塵室內，人員與物料的進出是主要的微粒污染來源，即便穿戴潔淨服，也可能攜帶 0.3 µm 至 10 µm 的顆粒進入無塵室，影響生產環境。

微粒子計數器的作用

• 在無塵室入口與風淋室設置監測點，確保人員進入前符合潔淨標準。
• 監測設備維護區域，避免維護作業造成微粒污染。
• 即時分析微粒濃度變化，協助優化人員與物料進出管控。

現代無塵室已開始引入 智能微粒監測系統，搭配 AI 數據分析，能即時檢測人員與物料可能帶入的污染源，確保無塵室環境穩定。

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4. HVAC 與過濾系統監控

無塵室的HVAC（Heating, Ventilation, and Air Conditioning）系統 負責提供潔淨空氣，其中的 HEPA/ULPA 過濾系統 是控制微粒污染的關鍵。當濾網效能下降，微粒濃度就會升高，影響無塵室等級。

微粒子計數器的作用

• 監測 HEPA/ULPA 濾網前後的微粒濃度變化，判斷過濾效能。
• 分析空氣循環系統的微粒趨勢，預測污染源並進行維護。
• 確保無塵室內的正壓狀態，防止外部污染物滲入。

HEPA/ULPA 過濾效率對比	過濾效率（對 0.3 µm 顆粒）
HEPA（H13）	99.95%
HEPA（H14）	99.995%
ULPA（U15）	99.9995%
ULPA（U16）	99.99995%

定期透過微粒子計數器監測濾網效能，能夠延長設備壽命，確保無塵室長期穩定運行。

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5. 產品最終包裝與運輸監測

半導體產品在完成製程後，仍需保持高度潔淨，在封裝、測試與運輸過程中，微粒污染都可能影響產品品質。特別是在高端晶片封裝中，靜電微粒或無機微粒可能導致封裝良率下降。

微粒子計數器的作用

• 監測封裝區域的微粒濃度，確保封裝製程符合標準。
• 監測無塵儲存與運輸環境，確保產品在潔淨條件下存放與運送。
• 即時監測數據並建立污染追蹤機制，提高產品品質可追溯性。

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微粒子計數器是半導體製程的關鍵監測工具

半導體製造對空氣潔淨度的要求極高，透過微粒子計數器的即時監測，可確保環境維持在最佳狀態，避免污染影響良率與生產效率。隨著技術發展，未來將會有更高精度、AI 分析能力更強的微粒監測系統，進一步提升製程穩定性。

企業若能善用微粒子計數技術，不僅能降低生產風險，也能在競爭激烈的市場中保持優勢。

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