在潔淨室、生技實驗室與高階製造業中，「空氣品質」從不是模糊的感覺，而是實實在在需要精準監測的關鍵指標。微粒子計數器（Particle Counter）正是這類場域中不可或缺的空氣監控儀器。透過科學的檢測機制，它能即時偵測空氣中的懸浮微粒，並依據國際標準進行分級，協助企業掌控風險與提升產品良率。若你想了解這套技術的運作邏輯與背後原理，這篇文章將用最清楚的方式，帶你快速入門。

但微粒子計數器的運作原理究竟是什麼？如何精準測量空氣中的微粒數量與大小？ 本文將用 3 分鐘帶你快速了解微粒子計數器的運作方式、技術原理及應用。

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1. 微粒子計數器的基本概念

什麼是微粒子計數器？

微粒子計數器（Particle Counter）是一種專門用來測量空氣中微粒數量與大小的儀器，適合測0.1-10 um的微粒子顆粒數，並進行分類計數。

根據測量方式，微粒子計數器可分為兩大類：

1. 1. 光學式微粒子計數器（Optical Particle Counter, OPC）

1. 1. 凝結核微粒子計數器（Condensation Particle Counter, CPC）

不同類型的計數器適用於不同環境，以下為主要差異：

微粒子計數器類型	適用範圍	可測粒徑範圍	測量方式
光學式（OPC）	無塵室、製造業	0.1 μm ~ 10 μm	雷射光散射
凝結核（CPC）	環境空氣監測	0.01 μm ~ 1.0 μm	氣溶膠冷凝增大

其中，光學式微粒子計數器（OPC） 是目前工業應用最廣泛的技術，接下來將深入探討其運作原理。

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2. 微粒子計數器的運作原理

光學式微粒子計數技術（OPC）

目前市面上最常見的微粒子計數器，主要採用雷射光散射技術（Laser Scattering Technology）。其運作流程如下：

1. 1. 空氣採樣：空氣透過內部的抽氣泵進入計數器，進行粒子篩選與分流。

1. 1. 雷射光照射：粒子通過雷射光束，光線會因粒子的大小而產生不同程度的散射。

1. 1. 光學感測器偵測：散射光訊號被光電二極體（PIN Diode）或光電倍增管（PMT）接收，轉換為電訊號。

1. 1. 數據分析：根據光散射強度計算粒子大小，並進行分類計數。

關鍵技術：米氏散射Mie scattering理論

雷射散射技術基於米氏散射Mie scattering理論，即當粒子尺寸與雷射波長接近時，光線會產生可測量的散射現象。透過測量散射角度與光強度，即可推算出粒子大小與數量。

步驟	對應技術	作用
空氣採樣	抽氣泵	收集空氣樣本
光照射	雷射光	產生散射現象
光訊號轉換	光電二極體	轉換光信號為電信號
數據處理	Mie 散射理論	計算微粒大小與數量

這種技術可以提供即時、連續的空氣品質監測，適用於潔淨室、醫療設備、製藥工業、環境監測站等場合。

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3. 微粒子計數器的應用與優勢

應用領域

微粒子計數器廣泛應用於以下領域，以確保空氣潔淨度達到標準：

• • 無塵室（Cleanroom）監測：確保製造環境符合 ISO 14644-1 潔淨度標準。

• • 製藥與生技產業：監測藥品製造過程中的環境微粒，以符合 GMP 規範。

• • 半導體產線：控制空氣懸浮微粒，避免晶圓受污染。

• • 醫療機構與生物安全實驗室：確保手術室、疫苗生產區等空間的空氣品質。

• • 空氣污染監測：環境監測站使用來測量 PM2.5、PM10 濃度，評估空氣品質狀況。

優勢分析

相較於傳統的重力沉降法與濾紙採樣法，光學式微粒子計數器具有以下優勢：

1. 1. 即時監測：可進行連續數據採集，即時反映環境變化。

1. 1. 高靈敏度：可偵測微至 0.1 μm 的微粒，適用於高潔淨度環境。

1. 1. 自動數據記錄：數據可儲存並與中央監控系統連線，方便進行趨勢分析。

1. 1. 快速分析：相較於傳統培養法需要數天，微粒子計數器可在數秒內提供測量結果。

這些優勢使微粒子計數器成為現代空氣品質監測的核心技術，幫助各行業維持高標準的環境控制。

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微粒子計數器是現代空氣品質監測的關鍵工具

隨著空氣污染議題升溫，微粒監測技術已成為各大產業不可或缺的設備。透過光學式微粒子計數技術，我們能夠精準測量空氣中的懸浮微粒，並即時掌握環境品質變化。

微粒子計數器的 3 大核心功能回顧

✔ 透過雷射光散射技術，即時測量空氣微粒數量與大小。
✔ 廣泛應用於無塵室、製藥、半導體、醫療機構與環境監測領域。
✔ 提供高靈敏度、快速分析與即時監測的優勢，提升環境潔淨度管控能力。

為什麼理解微粒子計數原理是企業升級的關鍵？

對於處在高度競爭環境中的製造與研發產業來說，空氣品質不僅關係產品合格率，更牽動整體品牌信任度與市場風險。深入了解微粒子計數器的運作原理，將有助於你做出更準確的選型判斷，優化空間監控策略，並確保作業流程符合 ISO 14644-1、EU GMP 等國際標準。掌握技術背後的邏輯，是邁向高效潔淨管理的重要第一步。

延伸閱讀:
2024 TSI 微粒子計數器最新款推薦：高效潔淨室監控解決方案
遠距微粒子計數器：即時監控空氣品質的最佳選擇
【2025專業指南】無塵室的最佳選擇：AES-FP 系列粒子感測器

在現代科技與製造領域，微粒子計數器已成為維持無塵室及高潔淨度環境中不可或缺的工具。無論是在半導體製造、醫療設備生產，還是藥品加工等高標準行業中，微粒子的存在可能對產品質量產生致命的影響。因此，使用精確的微粒子計數器來進行空氣潔淨度的監控變得尤為重要。

微粒子計數器是什麼？

微粒子計數器 是一種專門用來檢測空氣中懸浮微粒的儀器。它能夠精準地測量空氣中各種尺寸的微粒濃度，幫助用戶評估無塵室和其他高度潔淨的生產環境的潔淨度。這些設備通常應用於對空氣質量要求極高的行業，包括電子產品製造、醫療器械生產、藥品製造、食品加工以及實驗室操作等。

微粒子計數器的工作原理

微粒子計數器的工作原理基於光學技術，通常通過雷射束來偵測空氣中的微粒。當空氣中的微粒通過雷射光束時，光線會散射，散射的光被檢測器捕捉，並根據微粒的大小和數量進行計算。這些數據能夠提供精確的潔淨度資訊，幫助管理者掌控生產環境的空氣質量。

微粒子計數器的應用範圍

微粒子計數器不僅僅局限於無塵室的監測，它還被廣泛應用於以下範圍：

• 空氣品質檢測：微粒子計數器常被用來監控室內空氣品質，以確保工作環境的健康與安全。
• HEPA 過濾系統測試：在各類過濾器（如HEPA）性能測試中，微粒子計數器被用來評估過濾效率。
• 污染源追蹤：當潔淨室或其他高度潔淨環境出現微粒污染時，微粒子計數器能幫助迅速定位污染源，並進行相應處理。

為什麼選擇 TSI AeroTrak A100-31 微粒子計數器？

TSI AeroTrak A100-31 是2024年推薦的微粒子計數器型號，專為無塵室及其他需要高度潔淨環境的場所設計。該設備不僅具備高效的微粒檢測功能，還提供多項先進技術，滿足不同行業的需求。

TSI AeroTrak A100-31 的技術亮點

特點	詳細說明
檢測範圍	0.3μm – 25μm
數據存儲	25 萬筆數據，長達 6 個月
通訊技術	Wi-Fi & NFC 快速啟動
權限管理	三級權限，確保操作安全
法規支持	內建 ISO 14644-1、EU GMP、中國 GMP 等多國法規

TSI AeroTrak A100-31微粒子計數器 的應用場所

1. 半導體製造
   半導體製造業對空氣中微粒的敏感度極高，任何微小的微粒都可能影響晶片的質量。AeroTrak A100-31 可以提供精準的無塵室潔淨度數據，保證產品質量。
2. 醫療設備生產
   在醫療設備製造過程中，無菌環境尤為重要。AeroTrak A100-31 能夠幫助確保無菌製造環境的潔淨度，避免設備在生產過程中受到污染。
3. 藥品製造與食品加工
   藥品和食品的生產對空氣潔淨度的要求同樣極高。通過使用 AeroTrak A100-31，這些行業能夠精確控制生產環境，並生成符合 GMP 法規的潔淨度報告。

選擇 TSI AeroTrak A100-31 微粒子計數器，能夠確保您所在的行業無論是半導體、醫療設備還是藥品和食品製造，都能夠在符合國際潔淨度標準的環境中生產產品。透過其強大的檢測功能、先進的通訊技術以及數據管理能力，AeroTrak A100-31 微粒子計數器是您2025年最佳的潔淨室管理工具。

更多相關文章:
微粒子計數器校正：工業環境中的準確性保障

在潔淨室空氣監控技術持續進化的趨勢下，TSI 作為全球知名的微粒子計數器品牌，在 2025 年再度推出全新機型，備受業界關注。此次亮相的新款設備不僅強化了粒徑偵測的靈敏度與通道數，也大幅提升數據傳輸效率與法規報告的整合能力。對於製藥、生技、半導體與光電等對空氣潔淨度有極高要求的產業來說，新一代 TSI 微粒子計數器無疑為潔淨室管理帶來更高層次的穩定性與效率。本文將搶先解析其技術亮點，並推薦幾款適合 2025 年應用的潔淨室空氣監控設備，協助你做好升級準備。

落塵計數器與微粒子計數器是什麼？

落塵計數器 和 微粒子計數器 都是專門用來測量空氣中懸浮微粒數量的設備，然而它們的應用範圍和測量對象略有不同。落塵計數器主要用於檢測較大尺寸的顆粒，例如塵埃和灰塵，適合於工業製程中的空氣質量監控。而微粒子計數器則能夠檢測到更小的懸浮微粒，適用於需要高度潔淨的無塵室環境。

微粒子計數器的工作原理

微粒子計數器的工作原理主要依賴於光學技術。當空氣中的微粒經過儀器的光學雷射束時，雷射光束會與微粒發生散射，並且散射光會被偵測器捕捉到，根據微粒的大小進行分類和計數。這些數據可用於評估空氣的潔淨度，幫助管理者確保無塵室等環境符合行業標準。

為何空氣品質監測重要？

在製造業中，空氣品質直接關乎產品的質量。無論是半導體晶片還是醫療器材，微粒污染都可能導致嚴重的質量問題。使用微粒子計數器和落塵計數器能夠有效減少空氣中的污染物，維持高品質的作業環境，並降低產品瑕疵率。

微粒子計數器與落塵計數器的應用場景

這些設備適用於多種工業和科研領域，尤其是在高標準的生產環境中。以下是幾個典型的應用場景：

半導體與電子產品製造

半導體製造過程中，空氣中微小的顆粒會影響晶圓和電子產品的性能。微粒子計數器能夠實時監控無塵室的空氣品質，確保產品的可靠性。

醫療設備與藥品製造

在醫療設備和藥品生產中，潔淨的空氣質量是確保產品無菌和有效性的關鍵。微粒子計數器不僅能幫助檢測微粒污染，還能生成符合 GMP 法規的潔淨度報告，提升生產的合規性。

航空航太工業

航空航太工業的生產環境對空氣品質的要求極高。落塵計數器能夠幫助監控較大顆粒的污染物，確保飛機及航太設備在製造過程中的精度和安全性。

頂尖微粒子計數器型號推薦

以下是幾款推薦的微粒子計數器型號及其主要特點：

型號	圖	主要特點	適用場景	優勢
TSI 9303		便攜式，高精度，廣泛測量範圍，數據存儲功能	各種環境快速測量	便利性高，量測簡單，性價比高的選擇
AeroTrak+A100-50		大流量，每分鐘100升，多通道測量	生物醫藥業, A級區,針劑製藥等一立方公尺取樣體積環境	高精度，高流量測量，多通道數據分析, CFR Part11數據管理及追溯, 三級管理權限, IQ/OQ/PQ確效文件
表面大顆粒SPC微粒子計數器		ISO 14644-9表面大顆粒分級管理標準, ISO 14644-17最新顆粒沉降係數風險管理	Parts Clean, 機器/物件表面大型顆粒殘留	取代ISO 14644-1, 小型懸浮顆粒0.1 um-5 um之無塵室潔淨度分級管理
AeroTrak+A100-31		高精度，1 CFM/每分鐘28.3升，穩定測量性能，友好操作界,市面上最普及, 最符合標準, 內建法規級標準量測方式, 測試報各判別Pass/Fail	各大半導體,光電廠/封裝測試/適合從Class 1-Class9等環境	便於攜帶，適合日常監測以及廠房驗收和品質管制
AeroTrak+ 7000/6000系列		適合遠距連續監測, 高性能，檢測0.2-25微米，多通道測量，有內建pump和外接Pump	潔淨室，製藥工業	施工便利, 品質穩定,適合連續24小時偵測,更適合精密環境, 實現即時監測的

TSI AeroTrak A100-31 微粒子計數器：高效的潔淨室解決方案

在選購微粒子計數器時，TSI AeroTrak A100-31 是業界內高度推薦的選擇。這款設備不僅具備先進的技術和多樣化的應用功能，還能適應不同的生產環境需求，從而幫助企業維持高品質的空氣潔淨度。

TSI AeroTrak A100-31 的關鍵特點

特點	詳細說明
檢測範圍	0.3μm – 25μm
數據存儲	25 萬筆數據，長達 6 個月
通訊技術	Wi-Fi & NFC 快速啟動
權限管理	三級權限，確保操作安全
法規支持	內建 ISO 14644-1、EU GMP、中國 GMP 等多國法規

選購微粒子計數器的注意事項

在選購落塵計數器或微粒子計數器時，應考慮以下幾個關鍵因素：

1. 檢測範圍
   根據環境的空氣質量需求，選擇合適的檢測範圍非常重要。大多數無塵室需要能夠檢測到0.3微米及以下的微粒，因此建議選擇能覆蓋此範圍的設備。
2. 數據儲存與分析
   數據儲存容量越大，設備能夠長期記錄的數據越多，對於長期空氣品質監測至關重要。同時，設備是否支持自動生成報告也是值得考慮的因素，這能夠節省大量的時間和人工成本。
3. 設備通訊技術
   如同TSI AeroTrak A100-31所具備的Wi-Fi和NFC功能，選擇支持現代通訊技術的設備能夠提升數據傳輸和分析的便捷性。
4. 權限管理與法規支持
   多層級的權限管理功能可以確保只有授權使用者才能對設備進行操作，這對於多用戶環境中的數據安全至關重要。同時，內建法規支持有助於設備更好地滿足行業標準和合規需求。

領先部署，才能掌握潔淨室監控的主動權

在面對製程極端敏感、空氣品質要求不斷升高的未來環境中，選擇一台性能穩定、法規合規、整合彈性高的微粒子計數器，是企業能否持續達標的關鍵。TSI 所推出的 2025 年新機型，不僅回應了產業的實際監控需求，也重新定義了空氣品質監測的標準。無論你是準備導入全新系統，或正考慮替換舊型設備，現在正是重新評估空氣監控策略的最佳時機。選對設備，就是為潔淨室打下堅實的管理根基。

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打造高效無塵室：關鍵技術與測試趨勢指南
空氣品質監控必備：頂尖微粒子計數器型號推薦

在無塵室環境中，空氣中的微粒數量是一切品質控管的起點。無論是在半導體晶圓廠、製藥無菌製程、還是光電元件封裝廠，微粒濃度一旦超標，都可能導致良率下降、驗證失敗，甚至產線停擺。為了即時掌握空氣品質、確保潔淨室等級符合標準，微粒子計數器已成為不可或缺的監控工具。2025 年市場上計數器機型持續推陳出新，功能涵蓋 WiFi 傳輸、自動報告判讀、多通道粒徑分析等，該怎麼挑出一台最適合自己無塵室等級與預算的設備？本篇將從實務需求切入，整理推薦機型與選購重點，協助你做出明智選擇。

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什麼是微粒子計數器？

微粒子計數器 是用於檢測和記錄空氣中懸浮微粒數量的設備，能夠根據不同的粒徑（通常從0.3μm開始）對微粒進行分級計數。它是無塵室維持潔淨度的必備儀器，能夠精確測量空氣品質、發現微粒來源，及時控制污染，從而確保製造過程符合ISO 14644等國際標準。

微粒子計數器在工業無塵室中的重要性

在高科技工業領域，如半導體、光電、製藥、醫療設備等，空氣中極小的微粒都有可能對產品造成嚴重損害。無塵室通過多層過濾系統和嚴格的空氣控制措施來維持一定的潔淨度，而微粒子計數器則負責持續監測空氣中的微粒濃度，確保達到無塵室所需的空氣標準，並即時警示可能的污染問題。

2025最新微粒子計數器評比

以下是幾款市場上熱門的微粒子計數器型號，根據不同的應用需求進行了詳盡比較，從而幫助選擇適合您需求的設備。

型號	圖	主要特點	適用場景	優勢
TSI 9303		便攜式，高精度，廣泛測量範圍，數據存儲功能	各種環境快速測量	便利性高，量測簡單，性價比高的選擇
AeroTrak+A100-50		大流量，每分鐘100升，多通道測量	生物醫藥業, A級區,針劑製藥等一立方公尺取樣體積環境	高精度，高流量測量，多通道數據分析, CFR Part11數據管理及追溯, 三級管理權限, IQ/OQ/PQ確效文件
表面大顆粒SPC微粒子計數器		ISO 14644-9表面大顆粒分級管理標準, ISO 14644-17最新顆粒沉降係數風險管理	Parts Clean, 機器/物件表面大型顆粒殘留	取代ISO 14644-1, 小型懸浮顆粒0.1 um-5 um之無塵室潔淨度分級管理
AeroTrak+A100-31		高精度，1 CFM/每分鐘28.3升，穩定測量性能，友好操作界,市面上最普及, 最符合標準, 內建法規級標準量測方式, 測試報各判別Pass/Fail	各大半導體,光電廠/封裝測試/適合從Class 1-Class9等環境	便於攜帶，適合日常監測以及廠房驗收和品質管制
AeroTrak+ 7000/6000系列		適合遠距連續監測, 高性能，檢測0.2-25微米，多通道測量，有內建pump和外接Pump	潔淨室，製藥工業	施工便利, 品質穩定,適合連續24小時偵測,更適合精密環境, 實現即時監測的

微粒子計數器選購指南

選擇合適的微粒子計數器時，可從以下幾個因素考慮：

1. 1. 測量範圍與靈敏度：對於無塵室需要更精確的空氣控制，建議選擇能檢測較小粒徑（如0.1μm）且靈敏度較高的計數器，確保數據準確。

1. 1. 數據存儲與傳輸功能：帶有大容量存儲空間、WiFi或以太網傳輸功能的計數器，方便長期監測，並能即時將數據傳輸到管理系統中。

1. 1. 法規合規性：支援自動生成 ISO 14644、EU GMP 等法規報告的計數器可節省認證和稽核的流程。

1. 1. 操作便捷性：選擇具備多語言介面和用戶友好的操作界面，尤其適合操作頻繁或多層次操作的環境。

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先進的選擇：A100-31 微粒子計數器

在工業無塵室應用中，A100-31 是一款具備多功能、操作簡便且數據傳輸靈活的理想選擇。其特點包括：

• • 六種粒徑檢測：支持從 0.3μm 到 10μm 的顆粒監測，能精確測量符合無塵室潔淨要求的微粒濃度。

• • WiFi 通訊與數據存儲：支持 WiFi 連接和大容量數據存儲，便於即時監控和遠端數據管理。

• • 內建法規報告功能：自動生成合格與失敗報告，符合多項國際法規要求（如 ISO 14644、EU GMP），為稽核提供穩定的依據。

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2025 無塵室計數器挑選重點回顧

要選出一台真正適合無塵室使用的微粒子計數器，不能只看價格或品牌，而是要從實際應用需求出發。以下三大原則，是 2025 年最值得參考的選購方向：

1. 是否支援所需法規與報告格式：如 ISO 14644-1、EU GMP、中國 GMP 等，能否直接輸出 Pass/Fail 結果報告。

2. 粒徑通道與靈敏度是否足夠：是否能精準監測 0.3μm 以下粒子，並支援多粒徑通道分析。

3. 數據管理與連線功能是否便利：是否具備 WiFi、USB、Modbus 或即時軟體連線功能，利於長期監控與資料整合。

掌握以上挑選關鍵，無論是新建無塵室導入設備，或現有系統升級汰換，都能選出性能穩定、數據準確、法規合規的計數器型號。面對製造環境日益嚴格的要求，現在就是時候為你的無塵室環境添購一台真正可靠的微粒子計數器。

隨著醫療數位化與人工智慧輔助診斷的快速發展，全景玻片掃描技術正逐漸成為病理研究與教學領域的核心工具。從傳統光學顯微鏡到全數位影像平台，這項技術不僅提升了解剖觀察的效率，更在影像儲存、分析與遠距診斷等面向，帶來革命性的變革。本文將深入解析三大創新應用，從科研實驗到醫學教育，帶你掌握全景玻片掃描如何重塑病理學的工作模式與未來可能性。

1. 高效數位化與長期保存

Motic玻片數位化掃描儀能夠在高達400倍放大的倍率下，快速將玻片數位化，並保存成不同格式（MDS、JPEG、SVS），使得每一張玻片的細節都能被精確保留。此數位化過程大幅減少了實體玻片的保存需求，並減少因儲存、運輸造成的損壞風險，便於長期保存。

應用優勢：

• 高清影像保存：200倍和400倍放大下依然能保證高解析度，便於觀察微小結構變化。
• 多格式支持：檔案可轉換為MDS、JPEG、SVS等格式，方便不同平台使用，並支持遠程分享與存取。
• 資料存取靈活：數位化的玻片影像可直接保存於雲端，供不同地區的專家同時查閱，提升協作效率。

2. 教學培訓中的全景掃描應用

在醫學教育中，玻片數位化掃描儀的全景掃描功能為教學提供了嶄新的解決方案。Motic的數位化掃描技術使教師能在課堂上共享高清影像，並即時進行注解和講解，學生可在個人設備上同步瀏覽各個區域的細節，學習效率顯著提升。

應用優勢：

• 同步學習：掃描儀提供的高清全景影像可以在教室內或遠程教學中實現同步學習，學生可隨時放大或縮小以觀察細微結構。
• 操作簡單：操作界面友好，讓教師和學生能輕鬆瀏覽和截圖，有助於製作教學資料或進行病例討論。
• 培訓靈活性：無需依賴實體玻片或顯微鏡設備，數位化影像可直接展示在屏幕上，簡化了操作流程。

3. 病理學與科研分析的深入應用

在病理學與科學研究中，全景掃描技術對樣本的精密觀察具有重大意義。Motic的數位化玻片掃描儀可以實現細胞層次的高解析掃描，並配備先進的影像分析工具，幫助科研人員進行量化研究與數據分析。例如，科研人員可根據掃描結果迅速計算細胞密度、顆粒分佈等重要數據，並將其應用於癌症病理分析和其他重要病理研究中。

應用優勢：

• 即時分析：數位化掃描儀可自動識別不同細胞形態，並提供即時數據，便於快速獲得研究結果。
• 數據追蹤：所有影像與數據可保存為標準格式，方便日後查詢與數據追蹤。
• 跨科室協作：數位影像可供不同科室、不同地區的專家同時查閱，提升科研與醫療的協作效率。

Motic玻片數位化掃描儀的技術亮點

Motic玻片掃描儀具備一系列先進技術，滿足教學、病理學和科研的多方面需求：

• 可見光影像紀錄：保存真實顯微鏡下的色彩，適用於多種醫學應用。
• 全景掃描：無論是局部或全景影像，都能以高解析保存，保證影像的精確性。
• 高倍率下的清晰度：即使在400倍放大倍率下，仍能保持高清晰度，確保影像細節不失真。
• 操作簡便：用戶界面簡潔，讓使用者輕鬆操作並快速學會，適合不同技術水平的用戶。

全景玻片掃描技術，開啟病理研究的數位新紀元

全景玻片掃描技術不再只是輔助工具，而是推動病理學邁向智慧化與精準化的關鍵引擎。透過其高解析度、高效率與可視化應用，不僅讓科研成果更具再現性，也讓教學與臨床診斷更為靈活。面對醫學研究與數位轉型雙軌並進的未來，掌握這項技術的最新應用趨勢，無疑將是提升專業競爭力的關鍵一步。

當談到半導體製程，潔淨度從來不是可有可無的條件，而是影響良率與產品可靠度的核心關鍵。微粒子計數器作為無塵室環境監控的重要工具，早已廣泛應用於半導體產線的各個階段，從晶圓製造到封裝測試，皆須精準掌握空氣中粒子的變化。本文將透過5個實際應用情境，帶你深入了解微粒子計數器如何協助企業維持無塵室的高標準潔淨環境，強化製程穩定性與產品品質

透過即時監測微粒濃度，微粒子計數器能有效評估空氣品質，確保環境符合 ISO 14644-1 標準，並幫助製造商掌握污染源，減少產品瑕疵率。本篇文章將探討微粒子計數器如何應用於半導體產線的 5 大關鍵場景，並透過技術數據與標準來分析其重要性。

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1. 無塵室潔淨度監測與驗證

無塵室的等級劃分依據 ISO 14644-1 標準，其中不同等級的空氣微粒濃度限制不同。半導體產線通常要求 Class 1 至 Class 100 的潔淨環境，其中 Class 1 無塵室的 0.1 µm 微粒濃度應低於 10 顆/m³，以確保製程環境穩定。

微粒子計數器的作用

• 持續監測無塵室內的微粒濃度，確保環境符合 ISO 14644-1 標準。
• 在不同測點布置監測設備，識別微粒濃度變化趨勢。
• 在無塵室升級或新建時，驗證潔淨度是否達標，確保生產環境的穩定性。

ISO 14644-1 無塵室等級與允許微粒濃度
Class 1：0.1 µm ≤ 10 顆/m³
Class 10：0.1 µm ≤ 100 顆/m³
Class 100：0.1 µm ≤ 1,000 顆/m³
Class 1,000：0.1 µm ≤ 10,000 顆/m³

由於無塵室內的空氣品質隨著生產活動會有所變動，因此即時監測能幫助製造商及時發現異常，提高整體製造良率。

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2. 關鍵製程環境監測

半導體製程中的 光刻（Lithography）、蝕刻（Etching）、沉積（Deposition）、離子植入（Ion Implantation） 等工序，對微粒污染極度敏感，尤其是 5 奈米以下的先進製程，連 0.1 µm 微粒都可能導致晶圓缺陷。

微粒子計數器的作用

• 在關鍵製程設備周圍布置監測點，確保微粒濃度穩定。
• 搭配空氣過濾系統（HEPA/ULPA），監控污染變化並調整氣流。
• 定期分析數據趨勢，預測可能的污染源並進行預防性維護。

在高精密製程中，空氣品質的即時監測不僅能減少污染風險，也能幫助調整設備的運行條件，避免環境變化影響產品品質。

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3. 人員與物料進出監測

在無塵室內，人員與物料的進出是主要的微粒污染來源，即便穿戴潔淨服，也可能攜帶 0.3 µm 至 10 µm 的顆粒進入無塵室，影響生產環境。

微粒子計數器的作用

• 在無塵室入口與風淋室設置監測點，確保人員進入前符合潔淨標準。
• 監測設備維護區域，避免維護作業造成微粒污染。
• 即時分析微粒濃度變化，協助優化人員與物料進出管控。

現代無塵室已開始引入 智能微粒監測系統，搭配 AI 數據分析，能即時檢測人員與物料可能帶入的污染源，確保無塵室環境穩定。

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4. HVAC 與過濾系統監控

無塵室的HVAC（Heating, Ventilation, and Air Conditioning）系統 負責提供潔淨空氣，其中的 HEPA/ULPA 過濾系統 是控制微粒污染的關鍵。當濾網效能下降，微粒濃度就會升高，影響無塵室等級。

微粒子計數器的作用

• 監測 HEPA/ULPA 濾網前後的微粒濃度變化，判斷過濾效能。
• 分析空氣循環系統的微粒趨勢，預測污染源並進行維護。
• 確保無塵室內的正壓狀態，防止外部污染物滲入。

HEPA/ULPA 過濾效率對比	過濾效率（對 0.3 µm 顆粒）
HEPA（H13）	99.95%
HEPA（H14）	99.995%
ULPA（U15）	99.9995%
ULPA（U16）	99.99995%

定期透過微粒子計數器監測濾網效能，能夠延長設備壽命，確保無塵室長期穩定運行。

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5. 產品最終包裝與運輸監測

半導體產品在完成製程後，仍需保持高度潔淨，在封裝、測試與運輸過程中，微粒污染都可能影響產品品質。特別是在高端晶片封裝中，靜電微粒或無機微粒可能導致封裝良率下降。

微粒子計數器的作用

• 監測封裝區域的微粒濃度，確保封裝製程符合標準。
• 監測無塵儲存與運輸環境，確保產品在潔淨條件下存放與運送。
• 即時監測數據並建立污染追蹤機制，提高產品品質可追溯性。

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微粒子計數器是半導體製程的關鍵監測工具

半導體製造對空氣潔淨度的要求極高，透過微粒子計數器的即時監測，可確保環境維持在最佳狀態，避免污染影響良率與生產效率。隨著技術發展，未來將會有更高精度、AI 分析能力更強的微粒監測系統，進一步提升製程穩定性。

企業若能善用微粒子計數技術，不僅能降低生產風險，也能在競爭激烈的市場中保持優勢。

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在高潔淨度要求的產業中，無塵室的穩定性與可靠性攸關產品品質與作業安全。而其中關鍵的一環，就是定期執行 PAO 氣溶膠洩漏測試 與 HEPA/ULPA 過濾器完整性檢測。這些測試不僅能有效發現濾網洩漏或系統缺陷，更是確保無塵室持續符合 ISO 14644 與 GMP 等國際標準的必要步驟。本文將帶你一次掌握這些檢測的核心原理、測試流程與實務應用，為無塵室的長期穩定運作打下堅實基礎。

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為何無塵室需要進行PAO氣溶膠洩漏測試？

無塵室的核心：高效過濾器

高效過濾器作為無塵室的核心設備，其性能直接影響空氣潔淨度。經過一段時間的運行，濾網可能會因為邊框接縫鬆動、材質老化或操作不當而產生微小的洩漏點，導致污染物進入潔淨區域。

PAO氣溶膠測試的重要性

PAO（Polyalphaolefin）氣溶膠是一種標準化的檢測粒子，具有穩定的粒徑和散射特性。在高效過濾器上游釋放PAO微粒，並透過光度計或微粒計數器測量其濃度差異，可以準確判斷過濾器是否存在洩漏。

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PAO氣溶膠洩漏測試流程

1. 測試準備

在進行洩漏測試前，需確保無塵室內的空調系統運行正常，並完成以下準備工作：

• 風速與風量調整：確保氣流均勻，避免因氣流不穩導致測試結果偏差。
• 氣溶膠產生器設置：將PAO氣溶膠均勻霧化，輸入至高效過濾器上游。

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2. 上游濃度確認

使用氣溶膠光度計測量上游PAO微粒濃度，目標濃度需達每公升空氣含10微克以上的PAO微粒。濃度穩定後，即可開始進行過濾器表面的掃描檢測。

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3. 過濾器表面掃描

進行表面掃描時，需使用氣溶膠光度計或微粒計數器，根據以下操作步驟：

掃描步驟	操作說明
全面掃描	每個濾網表面及其邊框必須逐一檢測，確保無任何遺漏。
濾網表面	將探漏器垂直擺放，沿短邊方向以每秒50毫米的速度移動。
邊框接縫	特別檢查濾網與天花格柵（Ceiling Grid）接縫處。
距離與速度控制	探頭與濾網保持25毫米距離，以穩定速度進行掃描。

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洩漏判定與處理方法

• 判定標準：氣溶膠光度計顯示上下游濃度差異，若讀數超過0.01%，則可能存在洩漏點。
• 重新檢測：對疑似洩漏區域退回100毫米進行重測，若讀數持續偏高，需記錄位置並安排修補或更換過濾器。

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無塵室代測服務的優勢

1. 專業技術支援

專業的代測服務提供經驗豐富的技術團隊，能快速排查問題並提供解決方案，確保無塵室運行穩定。

2. 優化運行效率

透過定期檢測和維護，及時發現並修復洩漏點，能有效延長過濾器的使用壽命，降低運行成本。

3. 合規驗證與認證支持

代測服務可協助無塵室通過ISO 14644等國際標準認證，提升潔淨室的市場競爭力。

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PAO氣溶膠洩漏測試是確保無塵室運行穩定的重要環節，透過完整性檢測流程，能有效維持過濾器性能，保障產品品質。在選擇代測服務時，應注重專業性、設備水平和服務效率，確保您的無塵室始終處於最佳狀態。

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